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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)

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[求助] 怎样使镀的铜表面变的平整？

大体结构是这样的，Cu/WTi/SiO2/Si,最上层的铜是电镀的3um，有两个问题：一是有没有比较好的电镀参数；另外就是如果电镀厚度不均匀，有什么办法可以使铜表面平整？

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1楼 2013-11-15 14:43:27

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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)

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专业: 集成电路设计与测试

引用回帖:

2楼: Originally posted by c_kDr at 2013-11-28 13:03:03
找别人做过电镀Cu表面粗糙度控制在100 nm以下，不知道你想要的粗糙度是多少

师兄在度，估计只要镀出来后的处理方法

3楼2013-11-28 22:36:44

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c_kDr

金虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

★
xiaoliu0140(tyhjqxbz代发): 金币+1, 感谢应助交流，常来工艺技术版 2013-11-28 16:49:28

找别人做过电镀Cu表面粗糙度控制在100 nm以下，不知道你想要的粗糙度是多少

2楼2013-11-28 13:03:03

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