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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)

[求助] 怎样使镀的铜表面变的平整?

大体结构是这样的,Cu/WTi/SiO2/Si,最上层的铜是电镀的3um,有两个问题:一是有没有比较好的电镀参数;另外就是如果电镀厚度不均匀,有什么办法可以使铜表面平整?
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c_kDr

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


xiaoliu0140(tyhjqxbz代发): 金币+1, 感谢应助交流,常来工艺技术版 2013-11-28 16:49:28
找别人做过电镀Cu表面粗糙度控制在100 nm以下,不知道你想要的粗糙度是多少
2楼2013-11-28 13:03:03
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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by c_kDr at 2013-11-28 13:03:03
找别人做过电镀Cu表面粗糙度控制在100 nm以下,不知道你想要的粗糙度是多少

师兄在度,估计只要镀出来后的处理方法
3楼2013-11-28 22:36:44
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