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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

[求助] PI固化问题

我在Cu导线上涂PI,PI要包住底层铜导线。第一次涂完固化后,Cu导线挺好,导线之间也没问题(图1)。
固化完觉得PI厚度不够,于是我又涂了一次,固化。结果发现Cu导线间有东西(图2),各位虫友帮忙分析一下啊。。。
PI固化问题
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PI固化问题-1
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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 12:55:02
颜色不同,代表了不同的厚度。
又仔细看了一下,不仅仅是厚度的变化,亚胺化以后,PI会收缩50%左右。
你的第一个图,镀铜的顶部很多部分PI应该很薄,所以有铜的颜色暴露。
第二个图,你PI应该是裂开了,把铜暴 ...

第一张图导线上的发绿的颜色是PI?
我导线之间本来没有Cu啊,为啥第二次固化后导线之间会有Cu的颜色呢?
铜大概有几个微米厚,旋涂完后PI表面确实有起伏,后面还得用CMP抛光一下。大牛了解CMP磨PI么?
喷胶主要没有那条件,所以只能旋涂了。
7楼2013-11-11 17:38:48
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
不是有东西,应该是PI的厚度变化。第一次也有,不明显。
像这种结构,spin coating 会不均匀。有spary coating最好。
2楼2013-11-11 00:40:53
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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 00:40:53
不是有东西,应该是PI的厚度变化。第一次也有,不明显。
像这种结构,spin coating 会不均匀。有spary coating最好。

能否详细点?PI的厚度变化是个什么意思呢?固化完后还要抛光磨平一下。。
3楼2013-11-11 02:29:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-11-11 02:29:37
能否详细点?PI的厚度变化是个什么意思呢?固化完后还要抛光磨平一下。。...

颜色不同,代表了不同的厚度。
又仔细看了一下,不仅仅是厚度的变化,亚胺化以后,PI会收缩50%左右。
你的第一个图,镀铜的顶部很多部分PI应该很薄,所以有铜的颜色暴露。
第二个图,你PI应该是裂开了,把铜暴露出来了。
建议用喷胶的方法做,铜的高度比较高的话,旋涂很难做好。
4楼2013-11-11 12:55:02
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