应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » PI固化问题
81/1返回列表
查看: 2515  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

[求助] PI固化问题

我在Cu导线上涂PI，PI要包住底层铜导线。第一次涂完固化后，Cu导线挺好，导线之间也没问题（图1）。
固化完觉得PI厚度不够，于是我又涂了一次，固化。结果发现Cu导线间有东西（图2），各位虫友帮忙分析一下啊。。。
PI固化问题
2.jpg


PI固化问题-1
6.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2013-11-08 20:09:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不是有东西，应该是PI的厚度变化。第一次也有，不明显。
像这种结构，spin coating 会不均匀。有spary coating最好。
赞一下 回复此楼
2楼2013-11-11 00:40:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 00:40:53
不是有东西，应该是PI的厚度变化。第一次也有，不明显。
像这种结构，spin coating 会不均匀。有spary coating最好。

能否详细点？PI的厚度变化是个什么意思呢？固化完后还要抛光磨平一下。。
赞一下 回复此楼
3楼2013-11-11 02:29:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-11-11 02:29:37
能否详细点？PI的厚度变化是个什么意思呢？固化完后还要抛光磨平一下。。...

颜色不同，代表了不同的厚度。
又仔细看了一下，不仅仅是厚度的变化，亚胺化以后，PI会收缩50％左右。
你的第一个图，镀铜的顶部很多部分PI应该很薄，所以有铜的颜色暴露。
第二个图，你PI应该是裂开了，把铜暴露出来了。
建议用喷胶的方法做，铜的高度比较高的话，旋涂很难做好。
赞一下 回复此楼
4楼2013-11-11 12:55:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haode22

金虫 (正式写手)
请问LZ以及yswyx，你们用的可涂敷的PI，是自己做的，还是买别人的？急求啊！现在想用流体PI做个实验。
赞一下 回复此楼
逐渐成为工作狂，技术狂.............
5楼2013-11-11 16:28:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by haode22 at 2013-11-11 16:28:58
请问LZ以及yswyx，你们用的可涂敷的PI，是自己做的，还是买别人的？急求啊！现在想用流体PI做个实验。

买的。。向上交买的。
回复此楼
6楼2013-11-11 17:31:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 12:55:02
颜色不同，代表了不同的厚度。
又仔细看了一下，不仅仅是厚度的变化，亚胺化以后，PI会收缩50％左右。
你的第一个图，镀铜的顶部很多部分PI应该很薄，所以有铜的颜色暴露。
第二个图，你PI应该是裂开了，把铜暴 ...

第一张图导线上的发绿的颜色是PI？
我导线之间本来没有Cu啊，为啥第二次固化后导线之间会有Cu的颜色呢？
铜大概有几个微米厚，旋涂完后PI表面确实有起伏，后面还得用CMP抛光一下。大牛了解CMP磨PI么？
喷胶主要没有那条件，所以只能旋涂了。
赞一下 回复此楼
7楼2013-11-11 17:38:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

haode22

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-11-11 17:31:08
买的。。向上交买的。...

全称是什么？可否提供联系方式，短消息我。非常感谢啊！
赞一下 回复此楼
逐渐成为工作狂，技术狂.............
8楼2013-11-11 22:45:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 紫炎羊儿 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿A区211，22408 321求调剂 +6 随心所欲☆ 2026-04-15 7/350 2026-04-15 21:45 by lbsjt
[考研] 22408 312求调剂 +20 门路摸摸 2026-04-14 21/1050 2026-04-15 20:39 by cuisz
[考研] 材料299专硕求调剂 +17 +21 2026-04-09 17/850 2026-04-15 17:20 by zs92450
[考研] 各位老师好，求调剂，本科211，一志愿天津大学生物与医药学硕，差两名录取。 +11 路六六jjj 2026-04-13 11/550 2026-04-14 16:01 by zs92450
[考研] 一志愿华南理工大学331分材料求调剂 +10 天下ww 2026-04-09 11/550 2026-04-13 23:25 by pies112
[考研] B区0809 ，数一英一，290 求调剂 +3 泠潍1111 2026-04-12 4/200 2026-04-13 20:35 by 学员JpLReM
[基金申请] 2026 WR青拔 +3 冬日阳光CAS 2026-04-09 6/300 2026-04-13 18:40 by liuchb715
[考研] 生物学调剂 +11 小冉要努力 2026-04-10 13/650 2026-04-13 11:46 by 电化学及催化
[考研] 。 +10 李多米lee. 2026-04-12 11/550 2026-04-12 22:58 by yuyin1233
[考研] 化工调剂求导师收留！一志愿失利，踏实肯干，有植物提取科研经历 +20 yzyzx 2026-04-09 21/1050 2026-04-12 00:12 by 小小小小啦啦啦
[考研] 343求调剂 +9 王国帅 2026-04-10 9/450 2026-04-11 20:31 by dongdian1
[考研] 086003调剂求助 +21 苏弋万 2026-04-09 22/1100 2026-04-11 20:25 by dongdian1
[考研] 352 求调剂 +6 yzion 2026-04-11 8/400 2026-04-11 16:24 by 明月此时有
[考研] 087100初试311求调剂 +4 任雅琴 2026-04-09 4/200 2026-04-11 10:33 by zhq0425
[考研] 297求调剂 +9 Kwgyz 2026-04-09 9/450 2026-04-11 10:09 by zhq0425
[考研] 346，工科求调剂 +3 moser233 2026-04-09 3/150 2026-04-11 10:04 by zhq0425
[考研] 材料与化工调剂 +12 否极泰来2026 2026-04-10 13/650 2026-04-11 00:28 by wangjihu
[考研] 调剂 +19 小张ZA 2026-04-10 20/1000 2026-04-10 22:08 by 猪会飞
[考研] 一志愿京区985，085401，与本科专业一致，电子信息工程， +4 阳光开朗的男孩 2026-04-10 4/200 2026-04-10 18:27 by shenrf
[考研] 一志愿沪9，326生物学求相关专业调剂 +4 刘墨墨 2026-04-09 4/200 2026-04-10 12:07 by pengliang8036
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭