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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)

[求助] PI固化问题

我在Cu导线上涂PI，PI要包住底层铜导线。第一次涂完固化后，Cu导线挺好，导线之间也没问题（图1）。
固化完觉得PI厚度不够，于是我又涂了一次，固化。结果发现Cu导线间有东西（图2），各位虫友帮忙分析一下啊。。。
PI固化问题
2.jpg


PI固化问题-1
6.jpg
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1楼 2013-11-08 20:09:43
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不是有东西，应该是PI的厚度变化。第一次也有，不明显。
像这种结构，spin coating 会不均匀。有spary coating最好。
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2楼2013-11-11 00:40:53
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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 00:40:53
不是有东西，应该是PI的厚度变化。第一次也有，不明显。
像这种结构，spin coating 会不均匀。有spary coating最好。

能否详细点？PI的厚度变化是个什么意思呢？固化完后还要抛光磨平一下。。
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3楼2013-11-11 02:29:37
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-11-11 02:29:37
能否详细点？PI的厚度变化是个什么意思呢？固化完后还要抛光磨平一下。。...

颜色不同，代表了不同的厚度。
又仔细看了一下，不仅仅是厚度的变化，亚胺化以后，PI会收缩50％左右。
你的第一个图，镀铜的顶部很多部分PI应该很薄，所以有铜的颜色暴露。
第二个图，你PI应该是裂开了，把铜暴露出来了。
建议用喷胶的方法做，铜的高度比较高的话，旋涂很难做好。
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4楼2013-11-11 12:55:02
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haode22

金虫 (正式写手)
请问LZ以及yswyx，你们用的可涂敷的PI，是自己做的，还是买别人的？急求啊！现在想用流体PI做个实验。
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逐渐成为工作狂，技术狂.............
5楼2013-11-11 16:28:58
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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by haode22 at 2013-11-11 16:28:58
请问LZ以及yswyx，你们用的可涂敷的PI，是自己做的，还是买别人的？急求啊！现在想用流体PI做个实验。

买的。。向上交买的。
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6楼2013-11-11 17:31:08
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紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-11 12:55:02
颜色不同，代表了不同的厚度。
又仔细看了一下，不仅仅是厚度的变化，亚胺化以后，PI会收缩50％左右。
你的第一个图，镀铜的顶部很多部分PI应该很薄，所以有铜的颜色暴露。
第二个图，你PI应该是裂开了，把铜暴 ...

第一张图导线上的发绿的颜色是PI？
我导线之间本来没有Cu啊，为啥第二次固化后导线之间会有Cu的颜色呢？
铜大概有几个微米厚，旋涂完后PI表面确实有起伏，后面还得用CMP抛光一下。大牛了解CMP磨PI么？
喷胶主要没有那条件，所以只能旋涂了。
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7楼2013-11-11 17:38:48
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haode22

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 紫炎羊儿 at 2013-11-11 17:31:08
买的。。向上交买的。...

全称是什么？可否提供联系方式，短消息我。非常感谢啊！
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逐渐成为工作狂，技术狂.............
8楼2013-11-11 22:45:15
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