24小时热门版块排行榜    

查看: 878  |  回复: 3
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

whb06370283

金虫 (小有名气)

[求助] 在PMMA上蒸钛,蒸完后钛层里有裂缝是怎么回事?

我在显影后的PMMA 950K表面用电子束蒸发蒸了一层50nm的钛,结果拿出放显微镜下一看钛层里面有裂纹,想问一下这是怎么回事?有没有人遇到过这种类似的问题?
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

无聊的luffy

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

镀膜时加一点温度吧,先镀一sio2把
4楼2013-11-15 12:31:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 4 个回答

slzhao

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
热膨胀系数不同,就会龟裂

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
Dream
2楼2013-11-08 06:31:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
热应力问题,塑料和金属的热膨胀系数不一致。
而且蒸发时会引入很多应力。
3楼2013-11-08 08:27:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
信息提示
请填处理意见