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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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whb06370283

金虫 (小有名气)

[求助] 在PMMA上蒸钛,蒸完后钛层里有裂缝是怎么回事?

我在显影后的PMMA 950K表面用电子束蒸发蒸了一层50nm的钛,结果拿出放显微镜下一看钛层里面有裂纹,想问一下这是怎么回事?有没有人遇到过这种类似的问题?
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无聊的luffy

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

镀膜时加一点温度吧,先镀一sio2把
4楼2013-11-15 12:31:19
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slzhao

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
热膨胀系数不同,就会龟裂

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
Dream
2楼2013-11-08 06:31:48
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
热应力问题,塑料和金属的热膨胀系数不一致。
而且蒸发时会引入很多应力。
3楼2013-11-08 08:27:23
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