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whb06370283金虫 (小有名气)
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在PMMA上蒸钛,蒸完后钛层里有裂缝是怎么回事?
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| 我在显影后的PMMA 950K表面用电子束蒸发蒸了一层50nm的钛,结果拿出放显微镜下一看钛层里面有裂纹,想问一下这是怎么回事?有没有人遇到过这种类似的问题? |
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slzhao
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reninhat
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