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whb06370283金虫 (小有名气)
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[求助]
在PMMA上蒸钛，蒸完后钛层里有裂缝是怎么回事？
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| 我在显影后的PMMA 950K表面用电子束蒸发蒸了一层50nm的钛，结果拿出放显微镜下一看钛层里面有裂纹，想问一下这是怎么回事？有没有人遇到过这种类似的问题？ |
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reninhat
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 80 (初中生)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
3楼2013-11-08 08:27:23