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请问大家个问题,现在一般的EDS或者EDX的测试精度能达到多少atom%?
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2013-11-06 20:13:21
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5楼
:
Originally posted by
HHBWF
at 2013-11-07 09:49:21
请问 那如果我想要测得含量不足0.1atom%的元素 应该用什么设备测试较好呢?...
据说目前最好的,也较为方面是ICP-AES,精度能到350ppm左右,其原理是原子发射谱,相比光谱和电子信号来说,稍稳定而且精确点。但价格稍贵,仅供参考
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EDX只适用于大量元素存在定性的,定不了量,而且含量低也扫不到真实谱,如果是溶液或者易于形成溶液,用酸溶解啥的建议原子吸收,如果元素比较重而且是比较大量的固体或者粉末的话建议XRF,都可以定量,如果样品又很少很少那只能做XPS一类的,这个是半定量的,不过比EDS要准很多了,而且检测限也低
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理论上能达到0.1%,但是实际上因为背底和其他因素,都不能达到这么高,特别是EDS,能到3%就不错啦
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2013-11-06 21:01:44
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Hitachi的工程师说状态最好也就0.5%的精度。
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