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小A小小A

新虫 (初入文坛)

[求助] 微波处理对晶硅制绒有没有影响?

小虫最近在做晶硅制绒,试过酸制绒和碱制绒,今天老板让尝试将制绒后的硅片利用微波处理,不知道有没有作用。有没有做过这方面的大神指点一下?有具体文献最好了,谢谢。
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SCU_magiclee

铁杆木虫 (正式写手)

硅材料研发人员

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
小A小小A: 金币+5 2013-11-11 14:39:01
微波处理的气氛是?。。我觉得可能会类似于氧化钝化,关键要看制绒后硅片表面残留的东西会合硅成什么键。。。。测一下寿命就知道效果如何了。。。感觉钝化效果不会好于SiNx和SiOx。。
是金子总会发光!!!
2楼2013-11-09 17:49:00
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