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微波处理对晶硅制绒有没有影响？
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| 小虫最近在做晶硅制绒，试过酸制绒和碱制绒，今天老板让尝试将制绒后的硅片利用微波处理，不知道有没有作用。有没有做过这方面的大神指点一下？有具体文献最好了，谢谢。 |
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SCU_magiclee
铁杆木虫 (正式写手)
硅材料研发人员
- 应助: 47 (小学生)
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- 专业: 质谱分析
2楼2013-11-09 17:49:00
