| 查看: 1478 | 回复: 7 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
doll_gaga木虫 (职业作家)
|
[求助]
半导体，电镀12寸wafer均匀性不好的问题
|
|
|
在大马士革中试线上电镀12寸wafer，Dummy和Monitor共计约100片，均出现距离圆心100mm处（圆环状，内外均正常）RS偏高的均匀性问题，RS偏高处目测较暗，如不考虑晶型不同则为镀层较薄。已经排查过添加剂A, S, L和Cu2+，Acid，chlorine等，设备检修也未发现明显异常。 请问各路大神有没遇见过类似问题？如在解决途径上有建设性提议可追加悬赏。  |
回复此楼» 猜你喜欢
福州大学新能源材料与工程研究院招收2026年入学博士
已经有0人回复
-
海南师范大学2026年博士研究生招收 (在职想提升学历人员可报考) 申请考核制
已经有0人回复
-
物理化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有142人回复
-
锂离子电池循环寿命衰减过快，求机理分析与改进思路
已经有2人回复
-
求博导收留
已经有5人回复
-
CSC & MSCA 博洛尼亚大学能源材料课题组博士/博士后招生｜MSCA经费充足、排名优
已经有5人回复
-
德国Karlsruhe Institute of Technology招收电化学储能及联合培养CSC博士等
已经有19人回复
-
德国Karlsruhe Institute of Technology招收电化学储能及联合培养CSC博士
已经有18人回复
-
德国Karlsruhe Institute of Technology招收电化学储能及联合培养CSC博士
已经有1人回复
-
固态锂金属电池迁移数计算求助
已经有1人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 钛片基底 电镀 过渡金属氧化物 前处理
已经有26人回复
doll_gaga
木虫 (职业作家)
- 应助: 123 (高中生)
- 金币: 1036.5
- 散金: 2875
- 红花: 262
- 帖子: 4242
- 在线: 329.3小时
- 虫号: 1195244
- 注册: 2011-01-24
- 性别: GG
- 专业: 电化学分析
7楼2013-12-20 21:27:23
liulang1224
木虫 (小有名气)
研究学者
- 应助: 56 (初中生)
- 金币: 2713.9
- 红花: 3
- 帖子: 182
- 在线: 82.6小时
- 虫号: 2136511
- 注册: 2012-11-20
- 性别: GG
- 专业: 应用高分子化学与物理
2楼2013-10-29 20:14:24
doll_gaga
木虫 (职业作家)
- 应助: 123 (高中生)
- 金币: 1036.5
- 散金: 2875
- 红花: 262
- 帖子: 4242
- 在线: 329.3小时
- 虫号: 1195244
- 注册: 2011-01-24
- 性别: GG
- 专业: 电化学分析
3楼2013-10-29 21:42:15
liulang1224
木虫 (小有名气)
研究学者
- 应助: 56 (初中生)
- 金币: 2713.9
- 红花: 3
- 帖子: 182
- 在线: 82.6小时
- 虫号: 2136511
- 注册: 2012-11-20
- 性别: GG
- 专业: 应用高分子化学与物理
4楼2013-12-18 21:18:00