| 查看: 1525 | 回复: 7 | |||
doll_gaga木虫 (职业作家)
|
[求助]
半导体，电镀12寸wafer均匀性不好的问题
|
|
在大马士革中试线上电镀12寸wafer，Dummy和Monitor共计约100片，均出现距离圆心100mm处（圆环状，内外均正常）RS偏高的均匀性问题，RS偏高处目测较暗，如不考虑晶型不同则为镀层较薄。已经排查过添加剂A, S, L和Cu2+，Acid，chlorine等，设备检修也未发现明显异常。 请问各路大神有没遇见过类似问题？如在解决途径上有建设性提议可追加悬赏。  |
回复此楼» 猜你喜欢
南大化学调剂
已经有11人回复
-
硫酸钠溶液浓度与密度曲线
已经有0人回复
-
物理化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有126人回复
-
0703调剂
已经有4人回复
-
1
已经有21人回复
-
0703 调剂
已经有6人回复
-
招收
已经有0人回复
-
西南某211招27届博士
已经有30人回复
-
大连工业杰青/长江团队-生物质材料-储能电池方向招收2026级博士生
已经有0人回复
-
求调剂一志愿海大，0703化学学硕304分，有大创项目，四级已过
已经有10人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 钛片基底 电镀 过渡金属氧化物 前处理
已经有26人回复
liulang1224
木虫 (小有名气)
研究学者
- 应助: 56 (初中生)
- 金币: 2713.9
- 红花: 3
- 帖子: 182
- 在线: 82.6小时
- 虫号: 2136511
- 注册: 2012-11-20
- 性别: GG
- 专业: 应用高分子化学与物理
2楼2013-10-29 20:14:24
doll_gaga
木虫 (职业作家)
- 应助: 123 (高中生)
- 金币: 1036.5
- 散金: 2875
- 红花: 262
- 帖子: 4242
- 在线: 329.3小时
- 虫号: 1195244
- 注册: 2011-01-24
- 性别: GG
- 专业: 电化学分析
3楼2013-10-29 21:42:15
liulang1224
木虫 (小有名气)
研究学者
- 应助: 56 (初中生)
- 金币: 2713.9
- 红花: 3
- 帖子: 182
- 在线: 82.6小时
- 虫号: 2136511
- 注册: 2012-11-20
- 性别: GG
- 专业: 应用高分子化学与物理
4楼2013-12-18 21:18:00
magicpopo
金虫 (著名写手)
电之炼金术士
- ECEPI: 1
- 应助: 89 (初中生)
- 贵宾: 0.33
- 金币: 1459.6
- 散金: 4
- 红花: 10
- 帖子: 1064
- 在线: 443.6小时
- 虫号: 264784
- 注册: 2006-07-09
- 性别: GG
- 专业: 电化学
5楼2013-12-18 22:41:13
doll_gaga
木虫 (职业作家)
- 应助: 123 (高中生)
- 金币: 1036.5
- 散金: 2875
- 红花: 262
- 帖子: 4242
- 在线: 329.3小时
- 虫号: 1195244
- 注册: 2011-01-24
- 性别: GG
- 专业: 电化学分析
6楼2013-12-20 21:26:32
doll_gaga
木虫 (职业作家)
- 应助: 123 (高中生)
- 金币: 1036.5
- 散金: 2875
- 红花: 262
- 帖子: 4242
- 在线: 329.3小时
- 虫号: 1195244
- 注册: 2011-01-24
- 性别: GG
- 专业: 电化学分析
7楼2013-12-20 21:27:23
上官逸之
银虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 202.7
- 散金: 5
- 帖子: 104
- 在线: 30.6小时
- 虫号: 1157162
- 注册: 2010-11-27
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
8楼2015-09-22 10:01:08
5