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doll_gaga木虫 (职业作家)
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[求助]
半导体，电镀12寸wafer均匀性不好的问题
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在大马士革中试线上电镀12寸wafer，Dummy和Monitor共计约100片，均出现距离圆心100mm处（圆环状，内外均正常）RS偏高的均匀性问题，RS偏高处目测较暗，如不考虑晶型不同则为镀层较薄。已经排查过添加剂A, S, L和Cu2+，Acid，chlorine等，设备检修也未发现明显异常。 请问各路大神有没遇见过类似问题？如在解决途径上有建设性提议可追加悬赏。  |
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