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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 求助：冷等离子体法：石英管中等离子体异常，石英管易破裂、、急！！！
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zyhkobetime

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助：冷等离子体法：石英管中等离子体异常，石英管易破裂、、急！！！

我们用射频电源和匹配器，通过同轴电缆连出两个自制的铜环，在石英管中加载高频电压产生等离子体。通入的气体是氩气和硅烷混合气体。
    最近石英管常常在实验过程中突然破裂，等离子体的颜色也不正常：原先应该是红色的辉光，现在一般都是随着随着射频功率加高，不断变亮，颜色呈橙色。制备的样品也不正常，原先一般是晶体，现在产生的都是非晶。
    各位大神有没有遇到类似的问题，等离子体，石英管破裂，样品从晶态变成非晶之类的，相关的都可以。急求原因啊~~~~！！！
    我怀疑可能是两个铜环电极连接，气体来源，或者射频电源问题。求大神帮忙分析！！
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1楼 2013-10-24 09:10:01
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KMMZS

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by myownway at 2014-01-15 09:32:09
你好，我也是用RF加匹配器，用电感耦合产生产生低温等离子体
你用的高频电源是什么类型 啊？

K-mate射频电源和匹配器适合此工艺，13.56Mhz
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3楼2015-04-27 10:38:40
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myownway

至尊木虫 (职业作家)
你好，我也是用RF加匹配器，用电感耦合产生产生低温等离子体
你用的高频电源是什么类型 啊？
赞一下 回复此楼
2楼2014-01-15 09:32:09
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