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[求助]
求助：冷等离子体法：石英管中等离子体异常，石英管易破裂、、急！！！
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我们用射频电源和匹配器，通过同轴电缆连出两个自制的铜环，在石英管中加载高频电压产生等离子体。通入的气体是氩气和硅烷混合气体。 最近石英管常常在实验过程中突然破裂，等离子体的颜色也不正常：原先应该是红色的辉光，现在一般都是随着随着射频功率加高，不断变亮，颜色呈橙色。制备的样品也不正常，原先一般是晶体，现在产生的都是非晶。 各位大神有没有遇到类似的问题，等离子体，石英管破裂，样品从晶态变成非晶之类的，相关的都可以。急求原因啊~~~~！！！ 我怀疑可能是两个铜环电极连接，气体来源，或者射频电源问题。求大神帮忙分析！！ |
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 等离子体方向 |
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