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求助:冷等离子体法:石英管中等离子体异常,石英管易破裂、、急!!!
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我们用射频电源和匹配器,通过同轴电缆连出两个自制的铜环,在石英管中加载高频电压产生等离子体。通入的气体是氩气和硅烷混合气体。 最近石英管常常在实验过程中突然破裂,等离子体的颜色也不正常:原先应该是红色的辉光,现在一般都是随着随着射频功率加高,不断变亮,颜色呈橙色。制备的样品也不正常,原先一般是晶体,现在产生的都是非晶。 各位大神有没有遇到类似的问题,等离子体,石英管破裂,样品从晶态变成非晶之类的,相关的都可以。急求原因啊~~~~!!! 我怀疑可能是两个铜环电极连接,气体来源,或者射频电源问题。求大神帮忙分析!! |
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等离子体方向 |
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