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zyhkobetime

新虫 (初入文坛)

[求助] 求助:冷等离子体法:石英管中等离子体异常,石英管易破裂、、急!!!

我们用射频电源和匹配器,通过同轴电缆连出两个自制的铜环,在石英管中加载高频电压产生等离子体。通入的气体是氩气和硅烷混合气体。
    最近石英管常常在实验过程中突然破裂,等离子体的颜色也不正常:原先应该是红色的辉光,现在一般都是随着随着射频功率加高,不断变亮,颜色呈橙色。制备的样品也不正常,原先一般是晶体,现在产生的都是非晶。
    各位大神有没有遇到类似的问题,等离子体,石英管破裂,样品从晶态变成非晶之类的,相关的都可以。急求原因啊~~~~!!!
    我怀疑可能是两个铜环电极连接,气体来源,或者射频电源问题。求大神帮忙分析!!
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myownway

至尊木虫 (职业作家)

你好,我也是用RF加匹配器,用电感耦合产生产生低温等离子体
你用的高频电源是什么类型 啊?
2楼2014-01-15 09:32:09
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KMMZS

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by myownway at 2014-01-15 09:32:09
你好,我也是用RF加匹配器,用电感耦合产生产生低温等离子体
你用的高频电源是什么类型 啊?

K-mate射频电源和匹配器适合此工艺,13.56Mhz
3楼2015-04-27 10:38:40
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