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d-touch

木虫 (著名写手)

应助: 37 (小学生)
金币: 3725.8
散金: 623
红花: 5
帖子: 1069
在线: 884小时
虫号: 2554319
注册: 2013-07-19
性别: GG
专业: 无机非金属基复合材料

[求助] 请问国内哪些机构可以对锆钛酸铅陶瓷进行干法刻蚀刻蚀

如题，希望知道的朋友能帮我留个联系方式，谢谢！

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1楼2013-10-14 10:19:18

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yehanwin

木虫 (正式写手)

应助: 4 (幼儿园)
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金币: 2349.2
散金: 1
红花: 3
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在线: 107.6小时
虫号: 659651
注册: 2008-11-21
专业: 光学和光电子材料

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
d-touch: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-27 14:59:13

你可以考虑一下氯基反应离子刻蚀，干法刻蚀用的最多的就是卤素基等离子体刻蚀。至于机构你可以咨询下中科院苏州纳米所，好像那里有个纳米加工平台，有专门做刻蚀的。

升级为木虫，纪念下！

9楼2013-11-26 23:15:50

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