24小时热门版块排行榜    

查看: 1721  |  回复: 9

d-touch

木虫 (著名写手)

[求助] 请问国内哪些机构可以对锆钛酸铅陶瓷进行干法刻蚀刻蚀

如题,希望知道的朋友能帮我留个联系方式,谢谢!
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jason

木虫 (著名写手)

请问你说的干刻蚀是啥意思啊、
等离子体 还是热腐蚀啊
Jason
2楼2013-10-15 07:54:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

d-touch

木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Jason at 2013-10-15 07:54:13
请问你说的干刻蚀是啥意思啊、
等离子体 还是热腐蚀啊

应该是DRIE(Deep Reactive Ion Etching),也有文献说是ICP-DRIE(inductive coupled plasma-deep reactive ion etching),应该是指等离子体吧。请问你知道哪边可以做吗?
3楼2013-10-15 08:42:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jason

木虫 (著名写手)

这个差别很大的 用什么气体
Jason
4楼2013-10-15 21:18:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

d-touch

木虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by Jason at 2013-10-15 21:18:03
这个差别很大的 用什么气体

我不是专门做这个的,只是做器件需要用到这个方法,您能给点建议吗?
5楼2013-10-16 08:50:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jason

木虫 (著名写手)

看文章吧
人家用什么机器 啥环境就好办了
Jason
6楼2013-10-16 13:07:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

d-touch

木虫 (著名写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by Jason at 2013-10-16 13:07:29
看文章吧
人家用什么机器 啥环境就好办了

已有文献都讲的很粗略,只有一篇刻蚀PMNT(铌镁酸铅-钛酸铅)压电单晶的文献提到用Cl2进行DRIE的刻蚀。我要刻蚀的是PZT(锆钛酸铅)压电陶瓷,不知道Cl2是否可以通用?
7楼2013-10-16 15:38:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jason

木虫 (著名写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by d-touch at 2013-10-16 15:38:17
已有文献都讲的很粗略,只有一篇刻蚀PMNT(铌镁酸铅-钛酸铅)压电单晶的文献提到用Cl2进行DRIE的刻蚀。我要刻蚀的是PZT(锆钛酸铅)压电陶瓷,不知道Cl2是否可以通用?...

多查文献吧 肯定会讲的
Jason
8楼2013-10-16 15:49:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yehanwin

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
d-touch: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-27 14:59:13
你可以考虑一下氯基反应离子刻蚀,干法刻蚀用的最多的就是卤素基等离子体刻蚀。至于机构你可以咨询下中科院苏州纳米所,好像那里有个纳米加工平台,有专门做刻蚀的。
升级为木虫,纪念下!
9楼2013-11-26 23:15:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

simplejane

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

纳米所不让刻陶瓷,只刻III V族的
10楼2013-12-03 10:01:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 d-touch 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 321求调剂 +3 大米饭! 2026-03-15 3/150 2026-03-15 17:48 by 哈哈哈哈嘿嘿嘿
[考研] 311求调剂 +3 26研0 2026-03-15 3/150 2026-03-15 09:12 by JourneyLucky
[考研] 0703化学求调剂 +5 很老实人 2026-03-09 5/250 2026-03-14 02:57 by JourneyLucky
[考研] 一志愿浙江大学0856材料与化工求调剂 +4 yansheng@211 2026-03-09 5/250 2026-03-14 02:10 by JourneyLucky
[考研] 311求调剂 +5 牛乳糖的卡卡 2026-03-10 5/250 2026-03-14 00:05 by JourneyLucky
[考研] 复试调剂 +9 Copy267 2026-03-10 9/450 2026-03-13 23:45 by userper
[考研] 279求调剂 +3 Dizzy123@ 2026-03-10 3/150 2026-03-13 23:02 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工304求B区调剂 +5 邱gl 2026-03-11 6/300 2026-03-13 22:37 by JourneyLucky
[考研] 一志愿中科院,化学方向,295求调剂 +4 一氧二氮 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:35 by JourneyLucky
[考研] 材料工程调剂 +9 咪咪空空 2026-03-12 9/450 2026-03-13 22:05 by 星空星月
[考研] 求材料调剂 +5 隔壁陈先生 2026-03-12 5/250 2026-03-13 22:03 by 星空星月
[考研] 求调剂 +5 一定有学上- 2026-03-12 5/250 2026-03-13 18:31 by ms629
[考研] 材料专硕350 求调剂 +4 王金科 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:02 by ruiyingmiao
[考研] 268求调剂 +4 好运连绵不绝 2026-03-12 4/200 2026-03-13 10:45 by hyswxzs
[考研] 材料专硕274一志愿陕西师范大学求调剂 +4 薛云鹏 2026-03-13 4/200 2026-03-13 10:40 by 学员8dgXkO
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
[考研] 一志愿河海大学085900土木水利专硕279求调剂不挑专业 +4 SunWwWwWw 2026-03-10 8/400 2026-03-13 02:23 by SunWwWwWw
[考研] 0857 资源与环境 285分 +6 未名考生 2026-03-09 6/300 2026-03-11 21:08 by 30660438
[考研] 294 英二数二物化 求调剂 +6 米饭团不好吃 2026-03-09 6/300 2026-03-09 23:55 by barlinike
[考研] 数二英二309分请求调剂 +3 dtdxzxx 2026-03-09 4/200 2026-03-09 19:56 by yuningshan
信息提示
请填处理意见