应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 请问国内哪些机构可以对锆钛酸铅陶瓷进行干法刻蚀刻蚀
101/1返回列表
查看: 1720  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

d-touch

木虫 (著名写手)

[求助] 请问国内哪些机构可以对锆钛酸铅陶瓷进行干法刻蚀刻蚀

如题，希望知道的朋友能帮我留个联系方式，谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-10-14 10:19:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jason

木虫 (著名写手)
请问你说的干刻蚀是啥意思啊、
等离子体 还是热腐蚀啊
赞一下(1人) 回复此楼
Jason
2楼2013-10-15 07:54:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

d-touch

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Jason at 2013-10-15 07:54:13
请问你说的干刻蚀是啥意思啊、
等离子体 还是热腐蚀啊

应该是DRIE（Deep Reactive Ion Etching），也有文献说是ICP-DRIE(inductive coupled plasma-deep reactive ion etching),应该是指等离子体吧。请问你知道哪边可以做吗？
赞一下 回复此楼
3楼2013-10-15 08:42:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jason

木虫 (著名写手)
这个差别很大的 用什么气体
赞一下 回复此楼
Jason
4楼2013-10-15 21:18:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

d-touch

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Jason at 2013-10-15 21:18:03
这个差别很大的 用什么气体

我不是专门做这个的，只是做器件需要用到这个方法，您能给点建议吗？
赞一下 回复此楼
5楼2013-10-16 08:50:10
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jason

木虫 (著名写手)
看文章吧
人家用什么机器 啥环境就好办了
赞一下 回复此楼
Jason
6楼2013-10-16 13:07:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

d-touch

木虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by Jason at 2013-10-16 13:07:29
看文章吧
人家用什么机器 啥环境就好办了

已有文献都讲的很粗略，只有一篇刻蚀PMNT(铌镁酸铅-钛酸铅)压电单晶的文献提到用Cl2进行DRIE的刻蚀。我要刻蚀的是PZT(锆钛酸铅）压电陶瓷，不知道Cl2是否可以通用？
赞一下 回复此楼
7楼2013-10-16 15:38:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Jason

木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by d-touch at 2013-10-16 15:38:17
已有文献都讲的很粗略，只有一篇刻蚀PMNT(铌镁酸铅-钛酸铅)压电单晶的文献提到用Cl2进行DRIE的刻蚀。我要刻蚀的是PZT(锆钛酸铅）压电陶瓷，不知道Cl2是否可以通用？...

多查文献吧 肯定会讲的
赞一下 回复此楼
Jason
8楼2013-10-16 15:49:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yehanwin

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
d-touch: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-27 14:59:13
你可以考虑一下氯基反应离子刻蚀，干法刻蚀用的最多的就是卤素基等离子体刻蚀。至于机构你可以咨询下中科院苏州纳米所，好像那里有个纳米加工平台，有专门做刻蚀的。
赞一下 回复此楼
升级为木虫，纪念下！
9楼2013-11-26 23:15:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

simplejane

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

纳米所不让刻陶瓷，只刻III V族的
赞一下 回复此楼
10楼2013-12-03 10:01:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 d-touch 的主题更新
101/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[文学芳草园] 伙伴们，祝我生日快乐吧 +15 myrtle 2026-03-10 24/1200 2026-03-15 21:16 by 苏州_逗号
[考博] 东华理工大学化材专业26届硕士博士申请 +6 zlingli 2026-03-13 6/300 2026-03-15 20:00 by ryzcf
[考研] 311求调剂 +5 冬十三 2026-03-15 5/250 2026-03-15 18:38 by 无际的草原
[考研] 0703 物理化学调剂 +3 我可以上岸的对� 2026-03-13 3/150 2026-03-15 17:32 by 小物理化学
[考研] 289求调剂 +4 这么名字咋样 2026-03-14 6/300 2026-03-14 18:58 by userper
[考研] 材料与化工（0856）304求B区调剂 +7 邱gl 2026-03-10 11/550 2026-03-14 12:18 by 邱gl
[考研] 化学工程321分求调剂（南京工业，浙江工业） +3 大米饭！ 2026-03-09 4/200 2026-03-14 02:34 by JourneyLucky
[考研] 295复试调剂 +5 简木ChuFront 2026-03-09 5/250 2026-03-14 01:29 by JourneyLucky
[考研] 271求调剂 +10 生如夏花… 2026-03-11 10/500 2026-03-14 00:35 by 卖报员小雨
[考研] 材料与化工（0856）304求B区调剂 +6 邱gl 2026-03-12 7/350 2026-03-13 23:24 by 邱gl
[考研] 332求调剂 +3 zjy101327 2026-03-11 6/300 2026-03-13 22:48 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工求调剂一志愿 985 总分 295 +8 dream…… 2026-03-12 8/400 2026-03-13 22:17 by 星空星月
[考研] 求调剂（材料与化工327） +4 爱吃香菜啦 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:11 by JourneyLucky
[考研] 一志愿西南交大，材料专硕317求调剂 +5 lx8568 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:43 by peike
[考研] 考研调剂 +4 芬达46 2026-03-12 4/200 2026-03-13 16:04 by ruiyingmiao
[考研] 工科材料085601 279求调剂 +8 困于星晨 2026-03-12 10/500 2026-03-13 15:42 by ms629
[考研] 一志愿山大07化学 332分 四六级已过 本科山东双非 求调剂！ +3 不想理你 2026-03-12 3/150 2026-03-13 14:18 by JourneyLucky
[考研] 0817化学工程与技术考研312分调剂 +3 T123 tt 2026-03-12 3/150 2026-03-13 10:49 by houyaoxu
[考研] 08食品或轻工求调剂，本科发表3篇sci一区top论文，一志愿南师大食品科学与工程 +3 我是一个兵， 2026-03-10 3/150 2026-03-13 10:21 by Yuyi.
[考研] 一志愿山东大学，总分327，英语二79，有论文，有竞赛，已过四六级 +3 木木目目1 2026-03-09 3/150 2026-03-09 19:52 by yuningshan
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭