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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 陶瓷材料 » 请问国内哪些机构可以对锆钛酸铅陶瓷进行干法刻蚀刻蚀
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d-touch

木虫 (著名写手)

[求助] 请问国内哪些机构可以对锆钛酸铅陶瓷进行干法刻蚀刻蚀

如题，希望知道的朋友能帮我留个联系方式，谢谢！
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1楼 2013-10-14 10:19:18
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Jason

木虫 (著名写手)
请问你说的干刻蚀是啥意思啊、
等离子体 还是热腐蚀啊
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Jason
2楼2013-10-15 07:54:13
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d-touch

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Jason at 2013-10-15 07:54:13
请问你说的干刻蚀是啥意思啊、
等离子体 还是热腐蚀啊

应该是DRIE（Deep Reactive Ion Etching），也有文献说是ICP-DRIE(inductive coupled plasma-deep reactive ion etching),应该是指等离子体吧。请问你知道哪边可以做吗？
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3楼2013-10-15 08:42:14
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Jason

木虫 (著名写手)
这个差别很大的 用什么气体
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Jason
4楼2013-10-15 21:18:03
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d-touch

木虫 (著名写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Jason at 2013-10-15 21:18:03
这个差别很大的 用什么气体

我不是专门做这个的，只是做器件需要用到这个方法，您能给点建议吗？
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5楼2013-10-16 08:50:10
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Jason

木虫 (著名写手)
看文章吧
人家用什么机器 啥环境就好办了
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Jason
6楼2013-10-16 13:07:29
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d-touch

木虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by Jason at 2013-10-16 13:07:29
看文章吧
人家用什么机器 啥环境就好办了

已有文献都讲的很粗略，只有一篇刻蚀PMNT(铌镁酸铅-钛酸铅)压电单晶的文献提到用Cl2进行DRIE的刻蚀。我要刻蚀的是PZT(锆钛酸铅）压电陶瓷，不知道Cl2是否可以通用？
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7楼2013-10-16 15:38:17
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Jason

木虫 (著名写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by d-touch at 2013-10-16 15:38:17
已有文献都讲的很粗略，只有一篇刻蚀PMNT(铌镁酸铅-钛酸铅)压电单晶的文献提到用Cl2进行DRIE的刻蚀。我要刻蚀的是PZT(锆钛酸铅）压电陶瓷，不知道Cl2是否可以通用？...

多查文献吧 肯定会讲的
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Jason
8楼2013-10-16 15:49:12
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yehanwin

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
d-touch: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-11-27 14:59:13
你可以考虑一下氯基反应离子刻蚀，干法刻蚀用的最多的就是卤素基等离子体刻蚀。至于机构你可以咨询下中科院苏州纳米所，好像那里有个纳米加工平台，有专门做刻蚀的。
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升级为木虫，纪念下！
9楼2013-11-26 23:15:50
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simplejane

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

纳米所不让刻陶瓷，只刻III V族的
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10楼2013-12-03 10:01:05
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