| 查看: 1090 | 回复: 4 | ||
d-touch木虫 (著名写手)
|
[求助]
深硅刻蚀
|
|
请教各位做硅刻蚀的朋友,我想刻蚀这么一个东西:http://pan.baidu.com/s/1xI550 (图中有颜色的是Si柱),但是我希望刻蚀出来的Si柱有一定的角度,就像这样http://pan.baidu.com/s/1kRrQE 所以我需要的Si柱就类似锥形的样子。请教大家这个角度是否可控?我需要刻蚀的样品厚度小于300μm,请问国内哪些机构可以做的?谢谢大家! (不知道怎么插图,劳烦大家下下来看下,有劳了~) [ Last edited by d-touch on 2013-9-25 at 17:06 ] |
» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有97人回复
d-touch
木虫 (著名写手)
- 应助: 37 (小学生)
- 金币: 3725.8
- 散金: 623
- 红花: 5
- 帖子: 1069
- 在线: 884小时
- 虫号: 2554319
- 注册: 2013-07-19
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属基复合材料
2楼2013-09-26 08:18:34
3楼2013-10-09 16:54:06
reninhat
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 80 (初中生)
- 金币: 6133.8
- 散金: 117
- 红花: 5
- 帖子: 332
- 在线: 428.4小时
- 虫号: 2238571
- 注册: 2013-01-13
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
4楼2013-10-09 18:54:16
5楼2017-05-03 16:33:21













回复此楼