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d-touch

木虫 (著名写手)

[求助] 深硅刻蚀

请教各位做硅刻蚀的朋友,我想刻蚀这么一个东西:http://pan.baidu.com/s/1xI550
(图中有颜色的是Si柱),但是我希望刻蚀出来的Si柱有一定的角度,就像这样http://pan.baidu.com/s/1kRrQE
所以我需要的Si柱就类似锥形的样子。请教大家这个角度是否可控?我需要刻蚀的样品厚度小于300μm,请问国内哪些机构可以做的?谢谢大家!

(不知道怎么插图,劳烦大家下下来看下,有劳了~)

[ Last edited by d-touch on 2013-9-25 at 17:06 ]
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d-touch

木虫 (著名写手)

自己顶一下,求建议啊
2楼2013-09-26 08:18:34
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小博士后

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖


d-touch: 金币+1, 有帮助, 谢谢回帖 2013-10-09 18:11:11
可以采用喷砂的方法加工。
3楼2013-10-09 16:54:06
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
d-touch: 金币+2, 有帮助, 谢谢回帖,我问过搞这个的工程师,那边说可以通过控制工艺一次搞定的~ 2013-10-14 10:20:26
这个形貌不难做,先用深刻蚀把柱子刻出来。再用湿法刻蚀把尖刻出来
4楼2013-10-09 18:54:16
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浮生若梦繁华

新虫 (初入文坛)

目前科大可以做
5楼2017-05-03 16:33:21
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