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d-touch木虫 (著名写手)
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深硅刻蚀
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请教各位做硅刻蚀的朋友，我想刻蚀这么一个东西：http://pan.baidu.com/s/1xI550 （图中有颜色的是Si柱），但是我希望刻蚀出来的Si柱有一定的角度，就像这样http://pan.baidu.com/s/1kRrQE 所以我需要的Si柱就类似锥形的样子。请教大家这个角度是否可控？我需要刻蚀的样品厚度小于300μm，请问国内哪些机构可以做的？谢谢大家！ (不知道怎么插图，劳烦大家下下来看下，有劳了~) [ Last edited by d-touch on 2013-9-25 at 17:06 ] |
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