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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 深硅刻蚀
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d-touch

木虫 (著名写手)

[求助] 深硅刻蚀

请教各位做硅刻蚀的朋友，我想刻蚀这么一个东西：http://pan.baidu.com/s/1xI550
（图中有颜色的是Si柱），但是我希望刻蚀出来的Si柱有一定的角度，就像这样http://pan.baidu.com/s/1kRrQE
所以我需要的Si柱就类似锥形的样子。请教大家这个角度是否可控？我需要刻蚀的样品厚度小于300μm，请问国内哪些机构可以做的？谢谢大家！

(不知道怎么插图，劳烦大家下下来看下，有劳了~)

[ Last edited by d-touch on 2013-9-25 at 17:06 ]
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1楼 2013-09-25 17:04:10
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小博士后

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

★
d-touch: 金币+1, ★有帮助, 谢谢回帖 2013-10-09 18:11:11
可以采用喷砂的方法加工。
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3楼2013-10-09 16:54:06
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d-touch

木虫 (著名写手)
自己顶一下，求建议啊
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2楼2013-09-26 08:18:34
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
d-touch: 金币+2, ★有帮助, 谢谢回帖，我问过搞这个的工程师，那边说可以通过控制工艺一次搞定的~ 2013-10-14 10:20:26
这个形貌不难做，先用深刻蚀把柱子刻出来。再用湿法刻蚀把尖刻出来
赞一下 回复此楼
4楼2013-10-09 18:54:16
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