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[交流]
关于离子注入的剂量和束流大小
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按照布植剂量=（束流/离子电荷数）×布植时间/布植面积。 离子注入束流如果为1μA的话，那么1秒钟通过的电子数目为(1e-3)×(6.24e18)个。 就一氦离子为例，那么也就是说1秒钟布植的氦离子数目为(1e-3)×(6.24e18)个。 布植面积按照1cm×1cm的样品计算的话， 如果取布植剂量为1e16ions/cm2。 那就是说布植时间为16秒？？？？？ 这不科学呀！ 请大家指点一下，我哪里算错了？ |
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2楼2013-10-10 19:50:18
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2013-10-11 08:36
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wj0702114081(金币+1): 谢谢参与
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求不重复4楼
2013-10-11 12:51
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