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wj0702114081

金虫 (正式写手)


[交流] 关于离子注入的剂量和束流大小

按照布植剂量=(束流/离子电荷数)×布植时间/布植面积。
离子注入束流如果为1μA的话,那么1秒钟通过的电子数目为(1e-3)×(6.24e18)个。
就一氦离子为例,那么也就是说1秒钟布植的氦离子数目为(1e-3)×(6.24e18)个。
布植面积按照1cm×1cm的样品计算的话,
如果取布植剂量为1e16ions/cm2。
那就是说布植时间为16秒?????
这不科学呀!
请大家指点一下,我哪里算错了?
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wj0702114081

金虫 (正式写手)


见笑见笑!!!微米当成毫米了!应该是1e-6的~晕死了!
2楼2013-10-10 19:50:18
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2013-10-11 08:36   回复  
wj0702114081(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by wj0702114081 at 2013-10-10 19:50:18 见笑见笑!!!微米当成毫米了!应该是1e-6的~晕死了!

~~~
2013-10-11 12:51   回复  
wj0702114081(金币+1): 谢谢参与
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