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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 关于离子注入的剂量和束流大小
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wj0702114081

金虫 (正式写手)

[交流] 关于离子注入的剂量和束流大小

按照布植剂量=（束流/离子电荷数）×布植时间/布植面积。
离子注入束流如果为1μA的话，那么1秒钟通过的电子数目为(1e-3)×(6.24e18)个。
就一氦离子为例，那么也就是说1秒钟布植的氦离子数目为(1e-3)×(6.24e18)个。
布植面积按照1cm×1cm的样品计算的话，
如果取布植剂量为1e16ions/cm2。
那就是说布植时间为16秒？？？？？
这不科学呀！
请大家指点一下，我哪里算错了？
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1楼 2013-10-10 19:40:46
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wj0702114081

金虫 (正式写手)
见笑见笑！！！微米当成毫米了！应该是1e-6的~晕死了！
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2楼2013-10-10 19:50:18
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congqin3123楼
2013-10-11 08:36   回复  
wj0702114081(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
2楼: Originally posted by wj0702114081 at 2013-10-10 19:50:18 见笑见笑！！！微米当成毫米了！应该是1e-6的~晕死了！

~~~
求不重复4楼
2013-10-11 12:51   回复  
wj0702114081(金币+1): 谢谢参与
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