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关于离子注入的剂量和束流大小
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wj0702114081
金虫
(正式写手)
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帖子: 364
在线: 148小时
虫号: 1013700
[交流]
关于离子注入的剂量和束流大小
按照布植剂量=(束流/离子电荷数)×布植时间/布植面积。
离子注入束流如果为1μA的话,那么1秒钟通过的电子数目为(1e-3)×(6.24e18)个。
就一氦离子为例,那么也就是说1秒钟布植的氦离子数目为(1e-3)×(6.24e18)个。
布植面积按照1cm×1cm的样品计算的话,
如果取布植剂量为1e16ions/cm2。
那就是说布植时间为16秒?????
这不科学呀!
请大家指点一下,我哪里算错了?
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2013-10-10 19:40:46
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wj0702114081
金虫
(正式写手)
应助: 6
(幼儿园)
金币: 752.4
帖子: 364
在线: 148小时
虫号: 1013700
见笑见笑!!!微米当成毫米了!应该是1e-6的~晕死了!
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2楼
2013-10-10 19:50:18
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