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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 请问在半导体中什么是delta掺杂
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lwb870525

木虫 (著名写手)

[求助] 请问在半导体中什么是delta掺杂 已有1人参与

如题，在生长半导体材料时，假如生长了3层，在中间一层利用了delta掺杂，另外两层不掺杂。不明白delta掺杂是个什么样的掺杂法？其杂质浓度的分布符合什么样的规律？
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1楼 2013-10-03 10:58:36
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lwb870525

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yyman660 at 2013-10-03 11:45:31
这是modulation doping,

能解释的再详细一点儿吗？谢谢！
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人一旦过于认真，结果往往注定是悲剧；玩世不恭，有时候或许是喜剧，最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜，闹剧一笑而过，悲剧却是一生的痛，赢得了社会，却输了自己
3楼2013-10-03 16:32:59
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yyman660

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
这是modulation doping,

[ 发自小木虫客户端 ]
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2楼2013-10-03 11:45:31
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zhuzhen

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
delta掺杂浓度分布理想情况下应该符合delta函数，即杂质只分布于掺杂层，其他区域为0。比如这样一种方式，长完某一层时，只通杂质源，让杂质原子覆盖，然后再正常生长。看看delta函数模型就明白了
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4楼2013-10-05 09:01:11
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tuyuan_whu

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

跟楼上说的差不多。

我做过delta_doping 样品的测试。
就是说杂质在生长方向上的浓度呈现出一个delta 函数（就是冲激函数，000000001000000）当然这个是理想的情况。

事实上，杂质会向两边都有一定程度的扩散，或者叫做segregation。尤其是向表面的扩散会更严重一些。
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呵呵呵
5楼2013-12-22 21:22:42
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