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lwb870525

木虫 (著名写手)

[求助] 请问在半导体中什么是delta掺杂 已有1人参与

如题,在生长半导体材料时,假如生长了3层,在中间一层利用了delta掺杂,另外两层不掺杂。不明白delta掺杂是个什么样的掺杂法?其杂质浓度的分布符合什么样的规律?
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yyman660

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
这是modulation doping,

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2013-10-03 11:45:31
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lwb870525

木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yyman660 at 2013-10-03 11:45:31
这是modulation doping,

能解释的再详细一点儿吗?谢谢!
人一旦过于认真,结果往往注定是悲剧;玩世不恭,有时候或许是喜剧,最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜,闹剧一笑而过,悲剧却是一生的痛,赢得了社会,却输了自己
3楼2013-10-03 16:32:59
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zhuzhen

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
delta掺杂浓度分布理想情况下应该符合delta函数,即杂质只分布于掺杂层,其他区域为0。比如这样一种方式,长完某一层时,只通杂质源,让杂质原子覆盖,然后再正常生长。看看delta函数模型就明白了
4楼2013-10-05 09:01:11
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tuyuan_whu

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

跟楼上说的差不多。

我做过delta_doping 样品的测试。
就是说杂质在生长方向上的浓度呈现出一个delta 函数(就是冲激函数,000000001000000)当然这个是理想的情况。

事实上,杂质会向两边都有一定程度的扩散,或者叫做segregation。尤其是向表面的扩散会更严重一些。
呵呵呵
5楼2013-12-22 21:22:42
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tuyuan_whu

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我正在看的一篇文献:APPLIED PHYSICS LETTERS 97, 162108 2010
里面还介绍了一些delta doping的优势之类的。
呵呵呵
6楼2013-12-22 21:24:11
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