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yhp1008

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 怎么测试薄膜的厚度

最近要用PECVD法制备氧化物薄膜,因为以前没接触过这个领域,请问用什么方法可以测试薄膜的厚度?该厚度大约是200nm以内,湖南有哪些单位可以进行厚度的测试?谢谢各位虫子了!
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miloyy

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by shiningx at 2007-11-29 12:40:
台阶仪应该是最好的。
原子力显微镜、石英晶体振荡法、称量法、光干涉法、椭偏仪法以及X射线好像都是可以的。但是还是台阶仪和AFM比较实用,个人觉得。

你用的台阶仪精度有多少啊,台阶仪的一个问题就是台阶处的厚度和实际的厚度很可能不一样。。。

另外AFM怎么测能,扫描的范围很小啊
6楼2007-11-29 16:10:35
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查看全部 17 个回答

cmf0001

铜虫 (小有名气)

椭偏仪和反射光谱很方便


3040821025(金币+1,VIP+0):谢谢提供!
椭偏仪和反射光谱很方便
2楼2007-11-29 11:20:13
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)

厚度测试方法:椭偏仪、台阶仪、SEM观察截面
3楼2007-11-29 11:21:41
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miloyy

木虫 (正式写手)

补充一下XRR,X-ray reflectivity
4楼2007-11-29 12:23:16
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