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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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yhp1008

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 怎么测试薄膜的厚度

最近要用PECVD法制备氧化物薄膜,因为以前没接触过这个领域,请问用什么方法可以测试薄膜的厚度?该厚度大约是200nm以内,湖南有哪些单位可以进行厚度的测试?谢谢各位虫子了!
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cmf0001

铜虫 (小有名气)

椭偏仪和反射光谱很方便


3040821025(金币+1,VIP+0):谢谢提供!
椭偏仪和反射光谱很方便
2楼2007-11-29 11:20:13
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)

厚度测试方法:椭偏仪、台阶仪、SEM观察截面
3楼2007-11-29 11:21:41
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miloyy

木虫 (正式写手)

补充一下XRR,X-ray reflectivity
4楼2007-11-29 12:23:16
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shiningx

荣誉版主 (知名作家)

小木虫模范教师

台阶仪应该是最好的。
原子力显微镜、石英晶体振荡法、称量法、光干涉法、椭偏仪法以及X射线好像都是可以的。但是还是台阶仪和AFM比较实用,个人觉得。
这个家伙很懒,什么也没有留下
5楼2007-11-29 12:40:44
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miloyy

木虫 (正式写手)

引用回帖:
Originally posted by shiningx at 2007-11-29 12:40:
台阶仪应该是最好的。
原子力显微镜、石英晶体振荡法、称量法、光干涉法、椭偏仪法以及X射线好像都是可以的。但是还是台阶仪和AFM比较实用,个人觉得。

你用的台阶仪精度有多少啊,台阶仪的一个问题就是台阶处的厚度和实际的厚度很可能不一样。。。

另外AFM怎么测能,扫描的范围很小啊
6楼2007-11-29 16:10:35
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nanotenkia

铁杆木虫 (小有名气)

台阶仪不准的,如果透明的话,最好用光干涉法
7楼2007-11-29 18:51:56
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skysnow1122

金虫 (小有名气)

我觉的最简单直接的方法就是用 FE—SEM 看薄膜的断面。你可以试试。
8楼2007-11-29 19:50:10
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Rainycc

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by shiningx at 2007-11-29 12:40:
台阶仪应该是最好的。
原子力显微镜、石英晶体振荡法、称量法、光干涉法、椭偏仪法以及X射线好像都是可以的。但是还是台阶仪和AFM比较实用,个人觉得。

AFM测厚度恐怕不是比较使用的办法,这个可能会耗费针尖,而且测试区域太小实验数据的可靠性不能保证。称量法就更别说了,就是吸附产生的偏差就足够使结果有好几倍的误差,椭圆仪可以试试,石英晶体微天平倒是可以,不过还是误差的问题。如果是透明膜或者是半透明的膜可以用干涉法,紫外干涉法就可以测试。如果知道氧化物的元素含量及氧化物纯度,建议采用XRF的办法,这样可以不用破坏膜层,就可以得到膜层的厚度。用SEM断面法也是个不错的办法,这个使用于材料的延展性较差的膜层。
9楼2007-11-30 10:08:49
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nanocluster

金虫 (小有名气)

找台纳米台阶仪就可以了,很精确的。
10楼2007-11-30 10:10:56
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