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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » 怎么测试薄膜的厚度
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yhp1008

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 怎么测试薄膜的厚度

最近要用PECVD法制备氧化物薄膜，因为以前没接触过这个领域，请问用什么方法可以测试薄膜的厚度？该厚度大约是200nm以内，湖南有哪些单位可以进行厚度的测试？谢谢各位虫子了！
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1楼 2007-11-29 11:11:24
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cmf0001

铜虫 (小有名气)

椭偏仪和反射光谱很方便

★
3040821025(金币+1,VIP+0):谢谢提供！
椭偏仪和反射光谱很方便
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2楼2007-11-29 11:20:13
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)
厚度测试方法：椭偏仪、台阶仪、SEM观察截面
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3楼2007-11-29 11:21:41
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miloyy

木虫 (正式写手)
补充一下XRR，X-ray reflectivity
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4楼2007-11-29 12:23:16
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shiningx

荣誉版主 (知名作家)

小木虫模范教师
台阶仪应该是最好的。
原子力显微镜、石英晶体振荡法、称量法、光干涉法、椭偏仪法以及X射线好像都是可以的。但是还是台阶仪和AFM比较实用，个人觉得。
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这个家伙很懒，什么也没有留下
5楼2007-11-29 12:40:44
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miloyy

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by shiningx at 2007-11-29 12:40:
台阶仪应该是最好的。
原子力显微镜、石英晶体振荡法、称量法、光干涉法、椭偏仪法以及X射线好像都是可以的。但是还是台阶仪和AFM比较实用，个人觉得。

你用的台阶仪精度有多少啊，台阶仪的一个问题就是台阶处的厚度和实际的厚度很可能不一样。。。

另外AFM怎么测能，扫描的范围很小啊
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6楼2007-11-29 16:10:35
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nanotenkia

铁杆木虫 (小有名气)
台阶仪不准的，如果透明的话，最好用光干涉法
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7楼2007-11-29 18:51:56
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skysnow1122

金虫 (小有名气)
我觉的最简单直接的方法就是用 FE—SEM 看薄膜的断面。你可以试试。
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8楼2007-11-29 19:50:10
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Rainycc

木虫 (著名写手)
引用回帖:
Originally posted by shiningx at 2007-11-29 12:40:
台阶仪应该是最好的。
原子力显微镜、石英晶体振荡法、称量法、光干涉法、椭偏仪法以及X射线好像都是可以的。但是还是台阶仪和AFM比较实用，个人觉得。

AFM测厚度恐怕不是比较使用的办法，这个可能会耗费针尖，而且测试区域太小实验数据的可靠性不能保证。称量法就更别说了，就是吸附产生的偏差就足够使结果有好几倍的误差，椭圆仪可以试试，石英晶体微天平倒是可以，不过还是误差的问题。如果是透明膜或者是半透明的膜可以用干涉法，紫外干涉法就可以测试。如果知道氧化物的元素含量及氧化物纯度，建议采用XRF的办法，这样可以不用破坏膜层，就可以得到膜层的厚度。用SEM断面法也是个不错的办法，这个使用于材料的延展性较差的膜层。
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9楼2007-11-30 10:08:49
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nanocluster

金虫 (小有名气)
找台纳米台阶仪就可以了，很精确的。
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10楼2007-11-30 10:10:56
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