24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
查看: 1689  |  回复: 16
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

yhp1008

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 怎么测试薄膜的厚度

最近要用PECVD法制备氧化物薄膜,因为以前没接触过这个领域,请问用什么方法可以测试薄膜的厚度?该厚度大约是200nm以内,湖南有哪些单位可以进行厚度的测试?谢谢各位虫子了!
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Rainycc

木虫 (著名写手)

引用回帖:
Originally posted by shiningx at 2007-11-29 12:40:
台阶仪应该是最好的。
原子力显微镜、石英晶体振荡法、称量法、光干涉法、椭偏仪法以及X射线好像都是可以的。但是还是台阶仪和AFM比较实用,个人觉得。

AFM测厚度恐怕不是比较使用的办法,这个可能会耗费针尖,而且测试区域太小实验数据的可靠性不能保证。称量法就更别说了,就是吸附产生的偏差就足够使结果有好几倍的误差,椭圆仪可以试试,石英晶体微天平倒是可以,不过还是误差的问题。如果是透明膜或者是半透明的膜可以用干涉法,紫外干涉法就可以测试。如果知道氧化物的元素含量及氧化物纯度,建议采用XRF的办法,这样可以不用破坏膜层,就可以得到膜层的厚度。用SEM断面法也是个不错的办法,这个使用于材料的延展性较差的膜层。
9楼2007-11-30 10:08:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答

cmf0001

铜虫 (小有名气)

椭偏仪和反射光谱很方便


3040821025(金币+1,VIP+0):谢谢提供!
椭偏仪和反射光谱很方便
2楼2007-11-29 11:20:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Tavano

铁杆木虫 (正式写手)

厚度测试方法:椭偏仪、台阶仪、SEM观察截面
3楼2007-11-29 11:21:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

miloyy

木虫 (正式写手)

补充一下XRR,X-ray reflectivity
4楼2007-11-29 12:23:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 青岛科技大学材料学院,环境学院调剂补录4月10日以前都可以 +3 1青科大。 2026-04-09 5/250 2026-04-10 09:58 by 翩翩一书生
[考研] 材料工程日语考生求调剂 +3 0856?调剂 2026-04-10 3/150 2026-04-10 09:45 by yutian743
[考研] 08600生物与医药-327 +10 18755400796 2026-04-05 10/500 2026-04-10 08:14 by kangsm
[考研] 材料专硕初试分332一志愿西北工业大学, +12 故人?? 2026-04-09 12/600 2026-04-09 18:34 by Ccclqqq
[考研] 求调剂希望还是希望在山河四省附近 +3 快乐的小白鸽 2026-04-05 3/150 2026-04-09 17:36 by wp06
[考研] 本科郑州大学,一志愿华东师范大学282求调剂 +23 熊哥xtk 2026-04-07 26/1300 2026-04-09 17:17 by 18446523
[考研] 求调剂 +13 柒luck 2026-04-07 13/650 2026-04-08 22:46 by 猪会飞
[考研] 283求调剂 +19 A child 2026-04-04 19/950 2026-04-08 14:26 by xingguangj
[考研] 315求调剂 +17 欣喜777 2026-04-04 18/900 2026-04-08 13:54 by hangsimei
[考研] 22408 266求调剂 +11 masss11222 2026-04-07 14/700 2026-04-08 11:06 by yulian1987
[考研] 计算机408|在校多次国家级竞赛获奖|申请调剂 +4 东山大白鹅 2026-04-05 4/200 2026-04-08 00:18 by chongya
[考研] 调剂求助(生物与医药) +6 @6952 2026-04-06 6/300 2026-04-07 23:52 by lys0704
[考研] 专硕085403,291分,有两篇专利,一国一奖 +3 哈吉咪哈吉咪 2026-04-07 3/150 2026-04-07 18:21 by 蓝云思雨
[考研] 316求调剂 +7 yyx想调剂 2026-04-05 7/350 2026-04-07 14:31 by shdgaomin
[考研] 085405软件工程301分求调剂,专硕可跨专业,四六级已过 +3 静静想想 2026-04-05 3/150 2026-04-06 15:23 by nepu_uu
[考研] 331求调剂 +8 于征yz 2026-04-05 8/400 2026-04-06 00:54 by fmesaito
[考研] 求调剂到0856材料工程 +3 程9915 2026-04-05 3/150 2026-04-05 18:15 by 蓝云思雨
[考研] 298求调剂 +7 manman511 2026-04-05 7/350 2026-04-05 10:29 by 唐沐儿
[考研] 325求调剂 +4 春风不借意 2026-04-04 4/200 2026-04-04 22:08 by 啵啵啵0119
[考研] 求生物学专业调剂-332分 +5 云朵遛弯指南 2026-04-04 5/250 2026-04-04 10:05 by rzh123456
信息提示
请填处理意见