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yhp1008

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] 怎么测试薄膜的厚度

最近要用PECVD法制备氧化物薄膜,因为以前没接触过这个领域,请问用什么方法可以测试薄膜的厚度?该厚度大约是200nm以内,湖南有哪些单位可以进行厚度的测试?谢谢各位虫子了!
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shiningx

荣誉版主 (知名作家)

小木虫模范教师

台阶仪还是比较准确的吧
AFM绝对是可以测量的,我以前是专门搞AFM的。不过可能有些地方不愿意给你测试,一方面不好测试,另一方面需要事先准备好一个台阶。
这个家伙很懒,什么也没有留下
12楼2007-11-30 19:43:55
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cmf0001

铜虫 (小有名气)

椭偏仪和反射光谱很方便


3040821025(金币+1,VIP+0):谢谢提供!
椭偏仪和反射光谱很方便
2楼2007-11-29 11:20:13
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Tavano

铁杆木虫 (正式写手)

厚度测试方法:椭偏仪、台阶仪、SEM观察截面
3楼2007-11-29 11:21:41
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miloyy

木虫 (正式写手)

补充一下XRR,X-ray reflectivity
4楼2007-11-29 12:23:16
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