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aishanshan铁虫 (初入文坛)
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[求助]
紧急求助关于磷掺杂纳米硅的问题
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| 各位虫子上的大牛们求你们给分析这是怎么回事。我用PECVD做N型磷掺杂纳米硅膜，通入气体为PH3，SiH4，H2，玻璃衬底，射频功率30w，温度200℃。但是不管生长多长时间玻璃衬底上什么都没有，就是没有纳米硅膜。但是如果不通入PH3，只通入SiH4，H2生长本征纳米硅膜一切正常，就是通入PH3做掺杂后什么都生长不上。气体源没问题，PH3已经换新的了，腔室也没问题，换别的腔室也这样，射频源也换过没用。大牛们遇到过这样的情况么？求解释谢谢 |
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