| ²é¿´: 318 | »Ø¸´: 0 | ||
aishanshanÌú³æ (³õÈëÎÄ̳)
|
[ÇóÖú]
½ô¼±ÇóÖú¹ØÓÚÁײôÔÓÄÉÃ×¹èµÄÎÊÌâ
|
| ¸÷λ³æ×ÓÉϵĴóÅ£ÃÇÇóÄãÃǸø·ÖÎöÕâÊÇÔõô»ØÊ¡£ÎÒÓÃPECVD×öNÐÍÁײôÔÓÄÉÃ×¹èĤ£¬Í¨ÈëÆøÌåΪPH3£¬SiH4£¬H2£¬²£Á§³Äµ×£¬É䯵¹¦ÂÊ30w£¬Î¶È200¡æ¡£µ«ÊDz»¹ÜÉú³¤¶à³¤Ê±¼ä²£Á§³Äµ×ÉÏʲô¶¼Ã»ÓУ¬¾ÍÊÇûÓÐÄÉÃ×¹èĤ¡£µ«ÊÇÈç¹û²»Í¨ÈëPH3£¬Ö»Í¨ÈëSiH4£¬H2Éú³¤±¾Õ÷ÄÉÃ×¹èĤһÇÐÕý³££¬¾ÍÊÇͨÈëPH3×ö²ôÔÓºóʲô¶¼Éú³¤²»ÉÏ¡£ÆøÌåԴûÎÊÌ⣬PH3ÒѾ»»ÐµÄÁË£¬Ç»ÊÒҲûÎÊÌ⣬»»±ðµÄÇ»ÊÒÒ²ÕâÑù£¬ÉäÆµÔ´Ò²»»¹ýûÓᣴóÅ£ÃÇÓöµ½¹ýÕâÑùµÄÇé¿öô£¿Çó½âÊÍлл |
» ²ÂÄãϲ»¶
ÊÛSCIÒ»ÇøÎÄÕ£¬ÎÒ:8 O5 51O 54,¿ÆÄ¿ÆëÈ«,¿É+¼±
ÒѾÓÐ4È˻ظ´
ÊÛSCIÒ»ÇøÎÄÕ£¬ÎÒ:8 O5 51O 54,¿ÆÄ¿ÆëÈ«,¿É+¼±
ÒѾÓÐ6È˻ظ´
ÊÛSCIÒ»ÇøÎÄÕ£¬ÎÒ:8 O5 51O 54,¿ÆÄ¿ÆëÈ«,¿É+¼±
ÒѾÓÐ4È˻ظ´
ÊÛSCIÒ»ÇøÎÄÕ£¬ÎÒ:8 O5 51O 54,¿ÆÄ¿ÆëÈ«,¿É+¼±
ÒѾÓÐ5È˻ظ´
ÊÛSCIÒ»ÇøÎÄÕ£¬ÎÒ:8 O5 51O 54,¿ÆÄ¿ÆëÈ«,¿É+¼±
ÒѾÓÐ5È˻ظ´
ÊÛSCIÒ»ÇøÎÄÕ£¬ÎÒ:8 O5 51O 54,¿ÆÄ¿ÆëÈ«,¿É+¼±
ÒѾÓÐ8È˻ظ´
ÊÛSCIÒ»ÇøÎÄÕ£¬ÎÒ:8 O5 51O 54,¿ÆÄ¿ÆëÈ«,¿É+¼±
ÒѾÓÐ8È˻ظ´
ÊÛSCIÒ»ÇøÎÄÕ£¬ÎÒ:8 O5 51O 54,¿ÆÄ¿ÆëÈ«,¿É+¼±
ÒѾÓÐ10È˻ظ´
ÊÛSCIÒ»ÇøÎÄÕ£¬ÎÒ:8 O5 51O 54,¿ÆÄ¿ÆëÈ«,¿É+¼±
ÒѾÓÐ6È˻ظ´
ÊÛSCIÒ»ÇøÎÄÕ£¬ÎÒ:8 O5 51O 54,¿ÆÄ¿ÆëÈ«,¿É+¼±
ÒѾÓÐ6È˻ظ´
» ±¾Ö÷ÌâÏà¹ØÉ̼ÒÍÆ¼ö: (ÎÒÒ²ÒªÔÚÕâÀïÍÆ¹ã)

ÕÒµ½Ò»Ð©Ïà¹ØµÄ¾«»ªÌû×Ó£¬Ï£ÍûÓÐÓÃŶ~
°ëµ¼Ìå²ôÔÓÀàÐ͵ÄÅжÏ
ÒѾÓÐ5È˻ظ´
²ôÔÓ´ÅÐÔÄÉÃ×Á£×Ó
ÒѾÓÐ6È˻ظ´
¹ØÓÚ²ôÔÓºóµÄXRD·åλµÄÒÆ¶¯£¿£¿Çó³æ×Ó½âÊÍ
ÒѾÓÐ7È˻ظ´
Ñõ»¯Ê¯Ä«Ï©²ôÔÓºóµÄXRDÎÊÌâ
ÒѾÓÐ5È˻ظ´
Ó«¹âȾÁϲôÔӵĹèÇò£¬ÓÃʲô·½·¨²âÊÔȾÁϵÄʵ¼Ê²ôÔÓÁ¿
ÒѾÓÐ5È˻ظ´
¹ØÓÚ¹èÆ¬±íÃæÊèË®ÐÔ´¦ÀíµÄÎÊÌ⣬20½ð±Ò£¬Ð»Ð»Ö¸µã
ÒѾÓÐ4È˻ظ´
²ôÔӺ͸´ºÏµÄÇø±ð
ÒѾÓÐ9È˻ظ´
¹ØÓÚÓÃÁòËáË«ÑõË®´¦Àí¹èƬµÄÎÊÌâ
ÒѾÓÐ4È˻ظ´
Çë½ÌË®ÈÈ·¨ÖƱ¸¹ó½ðÊô²ôÔÓÄÉÃ×Ñõ»¯ÎïµÄÎÊÌâ
ÒѾÓÐ11È˻ظ´
̼ÄÉÃ׹ܲôÔÓ¾Ûõ£Ñǰ·SEMͼÎÊÌâ
ÒѾÓÐ3È˻ظ´
¡¾ÇóÖú¡¿Ì¼ÄÉÃ×¹ÜÔÚ¸´ºÏ²ÄÁÏÖеIJôÔÓÁ¿
ÒѾÓÐ4È˻ظ´
¡¾ÇóÖú¡¿¹ØÓÚ¹ºÂòÄÉÃ×¹è!
ÒѾÓÐ4È˻ظ´
¡¾½»Á÷¡¿´¿ÄÉÃ׹踺¼«µÄÖÆ±¸ÎÊÌâ
ÒѾÓÐ33È˻ظ´
¡¾½»Á÷¡¿¹ØÓÚ¹è²ôÔÓÅðºÍÁ×µÄÎÊÌâ
ÒѾÓÐ8È˻ظ´
¡¾Çë½Ì¡¿°ëµ¼ÌåÄÉÃ×¾§²ôÔÓ
ÒѾÓÐ11È˻ظ´
¿ÆÑдÓСľ³æ¿ªÊ¼£¬ÈËÈËΪÎÒ£¬ÎÒΪÈËÈË













»Ø¸´´ËÂ¥

µã»÷ÕâÀïËÑË÷¸ü¶àÏà¹Ø×ÊÔ´