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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

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专业: 半导体电子器件

[求助] SU8光刻胶能够旋涂500nm以下厚度吗？

请问是否需要添加稀释剂？何种稀释剂？旋涂速度是多少？

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@静静一yi

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测光刻胶厚度已经有12人回复

1楼2013-09-23 15:47:52

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dearmaximus

金虫 (正式写手)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by yswyx at 2013-09-24 16:59:57
瑞士原厂的SU8本身就有能够涂到0.5um以下膜厚的型号，比如GM1020和GM1010。
自己稀释是最不建议的，非常影响光刻的效果。如果不做光刻，可以自己稀释，但要保证稀释剂的纯度和洁净度。

可以联系“静静一yi”，你 ...

感谢专业回答！

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