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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » SU8光刻胶能够旋涂500nm以下厚度吗？
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

[求助] SU8光刻胶能够旋涂500nm以下厚度吗？

请问是否需要添加稀释剂？何种稀释剂？旋涂速度是多少？
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@静静一yi

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1楼 2013-09-23 15:47:52
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snnuxyg

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不清楚，你应该问问专业人士！
赞一下 回复此楼
如果你有天赋，勤勉会使其更加完善;如果你能力一般，勤勉会补足缺陷。
2楼2013-09-24 15:20:02
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
瑞士原厂的SU8本身就有能够涂到0.5um以下膜厚的型号，比如GM1020和GM1010。
自己稀释是最不建议的，非常影响光刻的效果。如果不做光刻，可以自己稀释，但要保证稀释剂的纯度和洁净度。

可以联系“静静一yi”，你要的她都有。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2013-09-24 16:59:57
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-09-24 16:59:57
瑞士原厂的SU8本身就有能够涂到0.5um以下膜厚的型号，比如GM1020和GM1010。
自己稀释是最不建议的，非常影响光刻的效果。如果不做光刻，可以自己稀释，但要保证稀释剂的纯度和洁净度。

可以联系“静静一yi”，你 ...

感谢专业回答！
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4楼2019-11-06 14:31:47
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