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坩埚下降法生长氟化镁晶体放肩多晶如何消除
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坩埚下降法生长氟化镁晶体，有时候会遇到炉子不稳定的情况生长出多晶晶体，有时候不动再次生长又是单晶，一般在籽晶部分没啥问题，问题基本都出在从籽晶部分长出后圆锥放肩的部分，等到等径部分一般就没啥问题了。有些炉子可以稳定的出好多块单晶，有的炉子出单晶多晶概率在一半一半，还有的就差一些。有些炉子这段时间连续出单晶，过些日子就连续出多晶了，不调整，有时候又出单晶了，有时候回不来了。石墨坩埚，长直径10厘米以上的晶体，大家觉得主要影响因素是哪些？在你的经验中，那个是最主要。温场，炉内温度波动，环境温度波动，籽晶质量，控温高低，籽晶杆的水冷位置、流量或温度，坩埚托的长度，生长界面形状，生长界面的高低，扩肩角度，起始引下位置，熔液熔化好坏，引下速度。 另外还有个困惑，一半理论上来说，生长界面位置比隔板高一点容易晶体长完了是凸界面。但有人认为引下完成后晶体表面停留的位置是影响晶体上表面凹凸的主要因素，如果引下过多就是凹界面，引下停留位置较高就是凸界面。你们有这个感觉吗？如果是这样，有什么道理？是高温塑性形变引起的吗？ |
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孙?�730
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3楼2013-09-18 12:33:55
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【答案】应助回帖
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这是下降法典型问题 根源是孪晶 尺寸大 更难控制 孪晶之间是通过共用同族等价晶面而连接的 靠系统设计几乎不能消除这种现象 毕竟孪晶的生长条件和单晶的生长条件在热力学上似乎没有明显的不同 关键在于动力学导向 坩埚在放肩段的外形轮廓线可以与同族的多个晶面趋于一致 已坩埚壁为起始点生长的小晶粒不可避免 只是我们尽量不要让它长大 形成与主晶的竞争关系就好 因此我们希望生长界面在流体力学尺度下尽量平滑 大尺寸晶体生长通常不易做到 温度波动和机械振动都可以导致小晶粒异常长大 应力异常 热导率异常 结晶潜热异常 传质异常等 都可能导致不幸的发生 处理必要的坩埚壁面清理之外 坩埚退火 充分化料 原料纯度和均匀性等 都是必须保证的 |
8楼2013-09-18 16:26:46
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13楼2014-05-28 12:06:01