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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » MEMS里面的压电材料AlN和PZT哪个用的比较多？
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zhangfengxmu

铁杆木虫 (正式写手)

[交流] MEMS里面的压电材料AlN和PZT哪个用的比较多？

请高手普及一下，MEMS里面的压电材料AlN和PZT，哪个用的比较普遍，为什么？谢谢！
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1楼 2013-09-16 08:19:35
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道远58

新虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
zhangfengxmu: 金币+5, 鼓励回帖 2013-09-16 14:00:39
PZT的压电性能比AlN好 但如果是薄膜的话 PZT制备难度要大于AlN，且成本更高
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4楼2013-09-16 11:11:18
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落花剑雨

木虫之王 (文学泰斗)
★ ★
zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
zhangfengxmu: 金币+1 2013-09-16 14:00:55
似乎看的多是PZT
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13楼2013-09-16 12:03:17
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普通回帖

jeremyfrc

木虫 (正式写手)
★ ★
zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
zhangfengxmu: 金币+1 2013-09-16 14:00:49
貌似是PZT，AlN用的不如PZT多。
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2楼2013-09-16 10:22:02
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seeforme

新虫 (知名作家)
★
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17楼2013-09-16 12:17:07
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niu.bi

木虫 (文坛精英)
★
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18楼2013-09-16 12:17:08
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checkin

银虫 (知名作家)
★
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19楼2013-09-16 12:17:08
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foxs2

木虫 (文坛精英)
★
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加油
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21楼2013-09-16 13:20:19
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kongjzh

木虫 (正式写手)
★ ★
zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
zhangfengxmu: 金币+1 2013-09-17 16:46:47
超声电机里用得是PZT
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22楼2013-09-16 16:47:11
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wendy3

金虫 (文坛精英)
★
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Good luck
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24楼2013-09-16 20:17:08
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muchfan

木虫 (知名作家)
★
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25楼2013-09-16 20:17:09
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herome

金虫 (知名作家)
★
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26楼2013-09-16 20:17:10
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heibi

金虫 (文坛精英)
★
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28楼2013-09-16 20:18:11
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fakebook

木虫 (文坛精英)
★
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29楼2013-09-16 20:18:11
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大水杯

木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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zhangfengxmu: 金币+8 2013-09-18 21:57:44
高频器件AlN用的比较多，特别像薄膜体声波谐振器，但是要做压力传感器之类的低频器件时，PZT用的较多，因为AlN的压电常数相对PZT而言小多了，而且比ZnO还小，但AlN唯一的优点就是稳定，而且相对PZT而言，其内部的极化损耗低，特别适合于高频器件。
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35楼2013-09-18 21:56:30
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lefantian1223楼
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尐东5楼
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