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zhangfengxmu

铁杆木虫 (正式写手)


[交流] MEMS里面的压电材料AlN和PZT哪个用的比较多?

请高手普及一下,MEMS里面的压电材料AlN和PZT,哪个用的比较普遍,为什么?谢谢!
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道远58

新虫 (正式写手)


★ ★ ★ ★ ★ ★
zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
zhangfengxmu: 金币+5, 鼓励回帖 2013-09-16 14:00:39
PZT的压电性能比AlN好 但如果是薄膜的话 PZT制备难度要大于AlN,且成本更高
4楼2013-09-16 11:11:18
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落花剑雨

木虫之王 (文学泰斗)


★ ★
zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
zhangfengxmu: 金币+1 2013-09-16 14:00:55
似乎看的多是PZT
13楼2013-09-16 12:03:17
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普通回帖

jeremyfrc

木虫 (正式写手)


★ ★
zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
zhangfengxmu: 金币+1 2013-09-16 14:00:49
貌似是PZT,AlN用的不如PZT多。
2楼2013-09-16 10:22:02
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seeforme

新虫 (知名作家)



zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
深深祝福
17楼2013-09-16 12:17:07
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niu.bi

木虫 (文坛精英)



zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
愿楼主心想事成
18楼2013-09-16 12:17:08
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checkin

银虫 (知名作家)



zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
Best wishes
19楼2013-09-16 12:17:08
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foxs2

木虫 (文坛精英)



zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
加油
21楼2013-09-16 13:20:19
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kongjzh

木虫 (正式写手)


★ ★
zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
zhangfengxmu: 金币+1 2013-09-17 16:46:47
超声电机里用得是PZT
22楼2013-09-16 16:47:11
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wendy3

金虫 (文坛精英)



zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
Good luck
24楼2013-09-16 20:17:08
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muchfan

木虫 (知名作家)



zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
愿楼主心想事成
25楼2013-09-16 20:17:09
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herome

金虫 (知名作家)



zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
深深祝福
26楼2013-09-16 20:17:10
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heibi

金虫 (文坛精英)



zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
Best wishes
28楼2013-09-16 20:18:11
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fakebook

木虫 (文坛精英)



zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
Best wishes
29楼2013-09-16 20:18:11
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大水杯

木虫 (著名写手)


★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
zhangfengxmu(金币+1): 谢谢参与
zhangfengxmu: 金币+8 2013-09-18 21:57:44
高频器件AlN用的比较多,特别像薄膜体声波谐振器,但是要做压力传感器之类的低频器件时,PZT用的较多,因为AlN的压电常数相对PZT而言小多了,而且比ZnO还小,但AlN唯一的优点就是稳定,而且相对PZT而言,其内部的极化损耗低,特别适合于高频器件。
35楼2013-09-18 21:56:30
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简单回复
2013-09-16 11:04   回复  
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尐东5楼
2013-09-16 11:19   回复  
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readytogo6楼
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wpf8708287楼
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