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溶胶凝胶法匀胶不均匀是什么造成的？？
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我在Si基片上镀的钡钕钛铁电薄膜，但是薄膜很不均匀 我设定的转速是1000r/min持续十秒，然后4000r/min持续三十秒。这个转速应该不低了吧？ 样品大小为10*20mm，用长方形的基片会不会对薄膜均匀性有影响？ 有什么办法可以是薄膜均匀呢？     P30906-164830.jpg  P30906-170304.jpg |
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9楼2013-09-09 10:32:48