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溶胶凝胶法匀胶不均匀是什么造成的??
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我在Si基片上镀的钡钕钛铁电薄膜,但是薄膜很不均匀 我设定的转速是1000r/min持续十秒,然后4000r/min持续三十秒。这个转速应该不低了吧? 样品大小为10*20mm,用长方形的基片会不会对薄膜均匀性有影响? 有什么办法可以是薄膜均匀呢? ![]() ![]() ![]() P30906-164830.jpg P30906-170304.jpg |
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3楼2013-09-07 12:16:46
yswyx
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yuan999
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