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hittyk金虫 (正式写手)
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[求助]
硅片进行湿法腐蚀，如何降低其表面粗糙度
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求助大神，小弟刚开始做硅片的湿法腐蚀，打算用KOH溶液和TMAH溶液将硅片腐蚀减薄。希望得到的表面越平滑越好。 小弟查了一些资料，说在KOH溶液中加入表面活性剂和IPA后会提高表面平滑度。但没找到KOH溶液浓度与粗糙度之间的关系，也没找到腐蚀速率与粗糙度之间的关系。哪位兄台对此比较熟悉，希望不吝赐教，或者推荐相关文献书籍查阅一下。 谢谢。 |
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