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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 硅片进行湿法腐蚀，如何降低其表面粗糙度
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hittyk

金虫 (正式写手)

[求助] 硅片进行湿法腐蚀，如何降低其表面粗糙度

求助大神，小弟刚开始做硅片的湿法腐蚀，打算用KOH溶液和TMAH溶液将硅片腐蚀减薄。希望得到的表面越平滑越好。
小弟查了一些资料，说在KOH溶液中加入表面活性剂和IPA后会提高表面平滑度。但没找到KOH溶液浓度与粗糙度之间的关系，也没找到腐蚀速率与粗糙度之间的关系。哪位兄台对此比较熟悉，希望不吝赐教，或者推荐相关文献书籍查阅一下。
谢谢。
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静以修身，俭以养德
1楼 2013-09-06 21:03:21
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一里地

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

请问你找到相关文献了吗？ 我觉得如果做减薄的需要高浓度的碱  ，如果你制绒的话需要去添加IPA的添加剂
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2楼2013-11-20 16:22:51
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