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非晶硅 傅里叶红外 已有1人参与
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在1-3欧姆厘米、单面抛光的单晶硅片上用PECVD长了一层60nm左右的非晶硅薄膜,测试的傅里叶红外图谱如下:http://bcs.duapp.com/emuchnet/2013/0901/w142h1864176_1378013930_741.png 看不懂每个峰对应的是什么键,求高手指点,不尽感激!!! 图片1.png |
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