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zdgcl

新虫 (初入文坛)

[求助] 非晶硅 傅里叶红外 已有1人参与

在1-3欧姆厘米、单面抛光的单晶硅片上用PECVD长了一层60nm左右的非晶硅薄膜,测试的傅里叶红外图谱如下:http://bcs.duapp.com/emuchnet/2013/0901/w142h1864176_1378013930_741.png
看不懂每个峰对应的是什么键,求高手指点,不尽感激!!!
非晶硅 傅里叶红外
图片1.png
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希部zx

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

你测试到的应该是吸收图谱,600左右的那个峰应该是SiH键的吸收峰,1000左右的吸收峰我们的测试也有,估计应该是SiO键的吸收峰。
2楼2015-06-24 09:44:30
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