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分子泵参数的一些疑问
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各位虫友，本人最近在了解一些分子泵方面的知识，有一些不懂的地方，请各位虫友不吝赐教哈。 1. 分子泵的抽率跟什么因素有关系？是不是抽率越大的分子泵价格越高？ 2. 分子泵的抽率和它能达到的极限真空度之间怎么取舍？打个比方，我的真空系统要达到<3*10-4Pa，有一台分子泵极限真空度为1*10-5Pa, 抽率500 l/s，另外一台分子泵极限真空度到1*10-7Pa, 抽率为260 l/s，哪一个分子泵性能更好？成本上哪一台更高？ 谢谢大家哈，金币少了点，实在没有更多的给了。 |
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