应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 请问哪里可以加工几十纳米Ｓi０２绝缘层
51/1返回列表
查看: 433  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

ljiang178

金虫 (正式写手)

[交流] 请问哪里可以加工几十纳米Ｓi０２绝缘层

请问哪里可以在单晶Ｓi片上加工２０－５０纳米Ｓi０２绝缘层，最好能先加工一片试下
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2007-11-09 11:35:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaoqinlxm

银虫 (小有名气)
你做的是不是管?不是管的话最好是磁控溅射了，它在真空条件下得到膜层.致密而且均匀.我们现在做的实验都是在单晶硅片上镀膜.
赞一下 回复此楼
渐变法则
7楼2007-11-12 10:16:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

xiaoqinlxm

银虫 (小有名气)
★
fzfscn(金币+1,VIP+0):谢谢您的回答！
可以通过磁控溅射的方法把SiO2溅射到单晶硅片上去，一般的真空镀膜机可以，磁控溅射仪也行。
赞一下(10人) 回复此楼
渐变法则
2楼2007-11-09 19:42:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ljiang178

金虫 (正式写手)
请问能得到致密的膜吗？　我要做ＦＥＴ用的．请问真空镀膜也可以吗？用来蒸镀的ＳiＯ２材料可以是什么？石英可以不？那温度应该很高的，用一般的舟可能不行哦．
赞一下 回复此楼
3楼2007-11-09 22:16:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaoqinlxm

银虫 (小有名气)
★ ★
jackchen145(金币+2,VIP+0):3x
得到的膜致密不致密要看你的工艺参数，一般资料上的参数都能够满足致密的条件。
做FET也可以啊 ，要是管的话就不大好做了，因为用溅射管内基本上溅射不到。
那你可以用电镀或化学镀的方法先镀上一层硅，再氧化成SIO2.
赞一下(10人) 回复此楼
渐变法则
4楼2007-11-10 18:36:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:27 by oEVWOejN9taj
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:19 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 5/250 2026-08-08 17:02 by oEVWOejN9taj
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 5/250 2026-08-08 16:47 by oEVWOejN9taj
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:22 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 WQyTGMbfH7Cx 2026-08-07 4/200 2026-08-08 15:02 by oEVWOejN9taj
[基金申请] fileCode有新解读？ +9 Tide man 2026-08-08 17/850 2026-08-08 14:56 by archvillain
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:47 by oEVWOejN9taj
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:39 by oEVWOejN9taj
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 5/250 2026-08-08 14:07 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 关于代码变化问题，想知道的进来 +11 且听虎啸 2026-08-07 14/700 2026-08-08 12:50 by 布布和一二
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 6/300 2026-08-08 10:19 by 3OOjAIS77qg2
[基金申请] 固定端突然变了，今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +3 布布和一二 2026-08-07 3/150 2026-08-07 15:09 by gltch
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 8月时间戳变的，举个手。玩一下，释放压力 +9 archvillain 2026-08-04 11/550 2026-08-05 20:06 by wlwhappy
[基金申请] 纯娱乐，不喜欢勿喷 +7 Tide man 2026-08-04 10/500 2026-08-04 15:10 by loufangrui
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭