应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 请问哪里可以加工几十纳米Ｓi０２绝缘层
81/1返回列表
查看: 511  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。

ljiang178

金虫 (正式写手)

[交流] 请问哪里可以加工几十纳米Ｓi０２绝缘层

请问哪里可以在单晶Ｓi片上加工２０－５０纳米Ｓi０２绝缘层，最好能先加工一片试下
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2007-11-09 11:35:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaoqinlxm

银虫 (小有名气)
★
fzfscn(金币+1,VIP+0):谢谢您的回答！
可以通过磁控溅射的方法把SiO2溅射到单晶硅片上去，一般的真空镀膜机可以，磁控溅射仪也行。
赞一下(10人) 回复此楼
渐变法则
2楼2007-11-09 19:42:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ljiang178

金虫 (正式写手)
请问能得到致密的膜吗？　我要做ＦＥＴ用的．请问真空镀膜也可以吗？用来蒸镀的ＳiＯ２材料可以是什么？石英可以不？那温度应该很高的，用一般的舟可能不行哦．
赞一下 回复此楼
3楼2007-11-09 22:16:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaoqinlxm

银虫 (小有名气)
★ ★
jackchen145(金币+2,VIP+0):3x
得到的膜致密不致密要看你的工艺参数，一般资料上的参数都能够满足致密的条件。
做FET也可以啊 ，要是管的话就不大好做了，因为用溅射管内基本上溅射不到。
那你可以用电镀或化学镀的方法先镀上一层硅，再氧化成SIO2.
赞一下(10人) 回复此楼
渐变法则
4楼2007-11-10 18:36:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lchyang

木虫 (小有名气)
50nm很难做到绝缘，特别是用溅射的方法。
赞一下 回复此楼
5楼2007-11-10 22:12:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ljiang178

金虫 (正式写手)
那干氧化和ＰＥＣＶＤ方法那个好呢？　我的ＱＱ３８１８３８６１，请加我请教下，谢谢！
赞一下 回复此楼
6楼2007-11-12 10:03:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaoqinlxm

银虫 (小有名气)
你做的是不是管?不是管的话最好是磁控溅射了，它在真空条件下得到膜层.致密而且均匀.我们现在做的实验都是在单晶硅片上镀膜.
赞一下 回复此楼
渐变法则
7楼2007-11-12 10:16:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ljiang178

金虫 (正式写手)
我就是要在单晶Ｓi上长几十纳迷的ＳiＯ２层，因为我们实验室没有溅射仪，所以想在外面加工．
赞一下 回复此楼
8楼2007-11-12 11:04:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ljiang178 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 5/250 2026-09-17 03:14 by Tql5LQhh5rLK
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 7/350 2026-09-17 02:28 by Tql5LQhh5rLK
[公派出国] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 7/350 2026-09-17 02:14 by Tql5LQhh5rLK
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +7 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 8/400 2026-09-17 01:38 by Tql5LQhh5rLK
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 i3KBRD19ERkG 2026-09-16 3/150 2026-09-17 00:50 by Tql5LQhh5rLK
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 mibUvS8DDCwf 2026-09-15 3/150 2026-09-16 23:28 by Tql5LQhh5rLK
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 vZfe6xYu34yj 2026-09-14 3/150 2026-09-16 22:52 by Tql5LQhh5rLK
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 vZfe6xYu34yj 2026-09-14 3/150 2026-09-16 22:26 by Tql5LQhh5rLK
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 23jxep3nCNZb 2026-09-14 4/200 2026-09-16 21:03 by MHf40yA0Uhyb
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +7 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 8/400 2026-09-16 18:37 by rRvxEj3zorCy
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 6/300 2026-09-16 16:00 by i3KBRD19ERkG
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-16 07:12 by LH5NkK5Ud4bh
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-16 05:27 by LH5NkK5Ud4bh
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-15 20:26 by zNcEhTcH7ihq
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-15 19:59 by CgyNCDVNhGVg
[考博] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +7 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 7/350 2026-09-15 16:23 by CgyNCDVNhGVg
[教师之家] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 08:26 by C79jjtjAKjEn
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-15 08:02 by C79jjtjAKjEn
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-15 05:50 by 5BDX0d0WFp7t
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 4/200 2026-09-14 16:13 by Aj1rhIDL5ixY
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭