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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 请问哪里可以加工几十纳米Ｓi０２绝缘层
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ljiang178

金虫 (正式写手)

[交流] 请问哪里可以加工几十纳米Ｓi０２绝缘层

请问哪里可以在单晶Ｓi片上加工２０－５０纳米Ｓi０２绝缘层，最好能先加工一片试下
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1楼 2007-11-09 11:35:08
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xiaoqinlxm

银虫 (小有名气)
★
fzfscn(金币+1,VIP+0):谢谢您的回答！
可以通过磁控溅射的方法把SiO2溅射到单晶硅片上去，一般的真空镀膜机可以，磁控溅射仪也行。
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渐变法则
2楼2007-11-09 19:42:43
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ljiang178

金虫 (正式写手)
请问能得到致密的膜吗？　我要做ＦＥＴ用的．请问真空镀膜也可以吗？用来蒸镀的ＳiＯ２材料可以是什么？石英可以不？那温度应该很高的，用一般的舟可能不行哦．
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3楼2007-11-09 22:16:36
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xiaoqinlxm

银虫 (小有名气)
★ ★
jackchen145(金币+2,VIP+0):3x
得到的膜致密不致密要看你的工艺参数，一般资料上的参数都能够满足致密的条件。
做FET也可以啊 ，要是管的话就不大好做了，因为用溅射管内基本上溅射不到。
那你可以用电镀或化学镀的方法先镀上一层硅，再氧化成SIO2.
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渐变法则
4楼2007-11-10 18:36:19
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lchyang

木虫 (小有名气)
50nm很难做到绝缘，特别是用溅射的方法。
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5楼2007-11-10 22:12:43
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ljiang178

金虫 (正式写手)
那干氧化和ＰＥＣＶＤ方法那个好呢？　我的ＱＱ３８１８３８６１，请加我请教下，谢谢！
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6楼2007-11-12 10:03:52
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xiaoqinlxm

银虫 (小有名气)
你做的是不是管?不是管的话最好是磁控溅射了，它在真空条件下得到膜层.致密而且均匀.我们现在做的实验都是在单晶硅片上镀膜.
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渐变法则
7楼2007-11-12 10:16:07
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ljiang178

金虫 (正式写手)
我就是要在单晶Ｓi上长几十纳迷的ＳiＯ２层，因为我们实验室没有溅射仪，所以想在外面加工．
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8楼2007-11-12 11:04:40
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