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ljiang178

金虫 (正式写手)

[交流] 请问哪里可以加工几十纳米Si02绝缘层

请问哪里可以在单晶Si片上加工20-50纳米Si02绝缘层,最好能先加工一片试下
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xiaoqinlxm

银虫 (小有名气)


fzfscn(金币+1,VIP+0):谢谢您的回答!
可以通过磁控溅射的方法把SiO2溅射到单晶硅片上去,一般的真空镀膜机可以,磁控溅射仪也行。
渐变法则
2楼2007-11-09 19:42:43
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ljiang178

金虫 (正式写手)

请问能得到致密的膜吗? 我要做FET用的.请问真空镀膜也可以吗?用来蒸镀的SiO2材料可以是什么?石英可以不?那温度应该很高的,用一般的舟可能不行哦.
3楼2007-11-09 22:16:36
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xiaoqinlxm

银虫 (小有名气)

★ ★
jackchen145(金币+2,VIP+0):3x
得到的膜致密不致密要看你的工艺参数,一般资料上的参数都能够满足致密的条件。
做FET也可以啊 ,要是管的话就不大好做了,因为用溅射管内基本上溅射不到。
那你可以用电镀或化学镀的方法先镀上一层硅,再氧化成SIO2.
渐变法则
4楼2007-11-10 18:36:19
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lchyang

木虫 (小有名气)

50nm很难做到绝缘,特别是用溅射的方法。
5楼2007-11-10 22:12:43
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ljiang178

金虫 (正式写手)

那干氧化和PECVD方法那个好呢? 我的QQ38183861,请加我请教下,谢谢!
6楼2007-11-12 10:03:52
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xiaoqinlxm

银虫 (小有名气)

你做的是不是管?不是管的话最好是磁控溅射了,它在真空条件下得到膜层.致密而且均匀.我们现在做的实验都是在单晶硅片上镀膜.
渐变法则
7楼2007-11-12 10:16:07
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ljiang178

金虫 (正式写手)

我就是要在单晶Si上长几十纳迷的SiO2层,因为我们实验室没有溅射仪,所以想在外面加工.
8楼2007-11-12 11:04:40
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