应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 磁控溅射可以连续溅射多久，以及氧化铪工艺
52/1返回列表
查看: 2094  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

xunmengyuan

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽

» 猜你喜欢
1楼 2013-08-03 16:10:41
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hyss1992

金虫 (小有名气)
气压太高，散射作用强，粒子能量损失大，生长速率低，反应气体流量高反应不完全，功率小原子没能量附着不上，靶基距差不多，再摸索一下工艺条件吧
赞一下 回复此楼
Stayhungry,stayfoolish.
13楼2013-11-13 21:21:27
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

wbcui

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xunmengyuan: 金币+10, ★★★很有帮助 2013-08-04 10:54:42
xunmengyuan: 金币+10 2013-08-05 08:09:35
不知道你的怎么需要这么长时间

你可以尝试调整一下靶材到基片的距离，以增大沉积速率

一般情况下，如果溅射系统质量够好的话，比如冷却到位，电源稳定性很好，这么长时间应该没问题，就怕中途靶材开裂，造成成分变化、
赞一下 回复此楼
2楼2013-08-04 00:05:00
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xunmengyuan

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
3楼2013-08-04 10:54:24
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wbcui

至尊木虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by xunmengyuan at 2013-08-04 11:54:24
靶间距已经很小了，也就6cm，你做过连续10个小时的溅射吗、我以前最长的一个小时，没做过这么久的，怕吧设备弄坏了。...

我做过
不过功率不大，
应该在100w左右吧

如果不保险，最好还是不要这么搞

还有一个原因是：你的电极中靶材到磁铁的距离太大了， 或者说生产厂家怕磁体冷却不充分，而增大Cu层的厚度确保冷却效果好。或者生产厂家所使用的磁体牌号不高。
赞一下 回复此楼
4楼2013-08-04 22:44:54
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[文学芳草园] 两块石头 +7 阿美_Lml888 2026-09-03 10/500 2026-09-06 20:08 by 阿美_Lml888
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 6/300 2026-09-06 18:21 by eObJPa4gWmp6
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 4/200 2026-09-06 18:09 by eObJPa4gWmp6
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 6/300 2026-09-06 18:09 by eObJPa4gWmp6
[找工作] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 8/400 2026-09-06 17:49 by eObJPa4gWmp6
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-04 8/400 2026-09-06 17:09 by eObJPa4gWmp6
[博后之家] 广西大学-广州大学招聘博士后 欢迎广大优秀人才！！！ +5 SCSIOyxguo 2026-09-03 8/400 2026-09-06 15:06 by 可爱小花朵
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 j5mmowWXNWxv 2026-09-05 3/150 2026-09-06 13:09 by eObJPa4gWmp6
[考博] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 j5mmowWXNWxv 2026-09-05 4/200 2026-09-06 12:49 by eObJPa4gWmp6
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 j5mmowWXNWxv 2026-09-05 3/150 2026-09-06 12:49 by eObJPa4gWmp6
[考博] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 j5mmowWXNWxv 2026-09-05 4/200 2026-09-06 12:29 by eObJPa4gWmp6
[基金申请] 科研人应该花精力去思考如何解决问题，而不是去凝练问题 +10 瞬息宇宙 2026-09-01 19/950 2026-09-06 11:15 by jiangxuan2004
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-05 8/400 2026-09-06 11:09 by eObJPa4gWmp6
[论文投稿] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 jPDp0sc2B7zQ 2026-09-04 8/400 2026-09-06 11:00 by eObJPa4gWmp6
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +8 CRJ0Aq2FtVH0 2026-09-03 15/750 2026-09-06 05:48 by E1iiBLMU2XnD
[基金申请] 面上没中，邀请各位路过的虫友分析一下分数 +12 jackleilei 2026-09-03 13/650 2026-09-05 18:10 by fireguard
[文学芳草园] 初秋的晨风 +4 阿美_Lml888 2026-09-04 6/300 2026-09-05 13:51 by 阿美_Lml888
[基金申请] 学科评审组评审是指会评吗？ +6 瞬息宇宙 2026-08-31 9/450 2026-09-05 13:11 by haizai99
[硕博家园] Ei源刊怎么投 +4 Fengshun9711 2026-09-04 4/200 2026-09-04 19:30 by 研途知予
[硕博家园] 哈尔滨工业大学韩晓军教授课题组招收2027年硕士推免生及博士研究生 +3 灯灯灯灯DDDD 2026-09-03 3/150 2026-09-03 21:22 by 科研皮皮猪
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭