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碳管生长
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hwh1990
铁虫
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虫号: 2088126
[交流]
碳管生长
本人在用热CVD生长碳管,生长条件:
碳源气体:乙烯---流量为20sccm
还原气体:氢气----流量为200sccm
载气:氩气----流量为200sccm
生长时间:10min
还原时间:600min
生长温度:700度
还原温度:700度
但在这个条件下,在不锈钢上长不出碳管,而在镀镍的硅片上却能生长出来。后来我改变了温度,分别在650度、800度、900度下生长,还是在不锈钢上生长不出碳管,而在镀镍硅片上能长出碳管。现在正无措,不知什么原因,希望有人知道的能指点一下,不胜感谢!
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2013-07-30 18:27:25
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lvyiyilv
木虫
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hwh1990: 金币+1
2013-07-30 20:34:56
不锈钢上也得做催化剂
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3楼
2013-07-30 19:53:54
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hwh1990
铁虫
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补充一下,还原时间写错了,是60min
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2楼
2013-07-30 18:28:10
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hwh1990
铁虫
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虫号: 2088126
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3楼
:
Originally posted by
lvyiyilv
at 2013-07-30 19:53:54
不锈钢上也得做催化剂
不锈钢本身就是催化剂,还需要再镀催化剂?之前我用乙炔作碳源在其上面都长出了碳管,为何乙烯就不行了呢?
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4楼
2013-07-30 20:34:46
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wulishi8
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虫号: 654606
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
hwh1990: 金币+1
2013-07-30 21:23:52
kunpeng1782: 专家考核, 谢谢您的指导
2013-07-31 16:57:27
不锈钢做实验之前,原位要用空气几百度烧一下,然后用氢气还原,之后就能生长了。
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5楼
2013-07-30 21:09:50
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