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碳管生长
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本人在用热CVD生长碳管，生长条件： 碳源气体：乙烯---流量为20sccm 还原气体：氢气----流量为200sccm 载气：氩气----流量为200sccm 生长时间：10min 还原时间：600min 生长温度：700度 还原温度：700度 但在这个条件下，在不锈钢上长不出碳管，而在镀镍的硅片上却能生长出来。后来我改变了温度，分别在650度、800度、900度下生长，还是在不锈钢上生长不出碳管，而在镀镍硅片上能长出碳管。现在正无措，不知什么原因，希望有人知道的能指点一下，不胜感谢！ |
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2楼2013-07-30 18:28:10
3楼2013-07-30 19:53:54
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wulishi8
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wulishi8
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